论文摘要
钛及其合金具有质量轻、比强度高、耐蚀性强、抗氧化性好等优点,目前主要应用于航空、汽车、船舶、医疗、化工、建筑、体育及日常生活等方面。但现行Kroll法生产钛的工艺存在工序复杂、不能连续化生产等缺点,致使钛的成本居高不下,极大的限制了钛的广泛应用。剑桥大学提出的FFC法,具有生产流程短、成本低、无污染等优点,被认为是最有希望取代Kroll法的钛生产工艺。而FFC法在合金制备方面更有优势,可以由混合金属氧化物一步制备出钛合金。钛硅合金具有较好的高温稳定性、较高的高温强度和良好的抗氧化能力,可作为高温结构材料;同时由于其低电阻和高温稳定性,在集成电路接触和互连技术中发挥了重要的作用。本课题采用FFC法,由TiO2和Si02混合物来制备钛硅合金。实验过程主要包括阴极制备和电解两个部分。阴极制备流程包括如下步骤:均匀混合TiO2、SiO2粉末;添加1%(质量比)的聚乙烯醇作为粘结剂;20 MPa压力下压制成形;1200℃下烧结4h;烧结后的片体和钼丝、镍硅丝组装成复合阴极。适宜的电解条件为:以烧结的TiO2-SiO2片体为阴极,石墨坩埚为阳极,电解温度900℃、电解电压3.0 V。电解10 h制得了钛硅合金,经过XRD分析其成分为TiSi2和Si,同时发现钛硅的合金化反应经历了下面几个阶段:Ti5Si3→Ti5Si3+TiSi2→TiSi2→TiSi2+Si。
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