论文摘要
随着激光加工技术、微机械等的发展,对微小物体的非接触、高精度、自动测试的要求在不断提高。本文研制了一种测量微小物体尺寸的显微-CCD-微机系统,编写了测试程序。系统的硬件部分主要由二维可移动平台、显微物镜、CCD相机、反射棱镜,图像采集卡和微机组成。并通过Visual C++程序完成了对微小物体二维尺寸的高精度,非接触,自动地检测。显微物镜作为成像系统,CCD相机作为接收器件放在显微物镜的像面上,这样被放大的工件就可以清晰的成像在CCD接收面上。图像经采集卡将模拟信号转换为数字信号输入到微机中用Visual C++程序进行处理。作为实例,我们为测量了一个玻璃微珠的球度和一个矩形工件的尺寸,测量结果和尺寸偏差自动地在计算机的监视器上显示出来,测量误差小于3μm。
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