李莉:二维热传导方程在高能脉冲离子束溅射中的应用论文

李莉:二维热传导方程在高能脉冲离子束溅射中的应用论文

本文主要研究内容

作者李莉,雷雨,滕保华,吴明和,杨宏春(2019)在《二维热传导方程在高能脉冲离子束溅射中的应用》一文中研究指出:本文基于能量守恒定律和傅里叶定律,建立了一种非常简单而直观的二维热传导物理模型。以工程上熔石英光学元件的氩离子束溅射为切入点,采用时域有限差分法数值计算了熔石英内部温度的二维演化规律,以及不同位置温度随时间的演化规律。计算结果表明,沿离子束入射方向熔石英温度演化规律呈现类高斯分布;离子束辐照区域内任一点的温度随时间的演化规律很大程度上依赖于入射离子束的脉冲形状。文中利用热学知识详细讨论了光学元件表面能量吸收对元件温度演化规律的影响。

Abstract

ben wen ji yu neng liang shou heng ding lv he fu li xie ding lv ,jian li le yi chong fei chang jian chan er zhi guan de er wei re chuan dao wu li mo xing 。yi gong cheng shang rong dan ying guang xue yuan jian de ya li zi shu jian she wei qie ru dian ,cai yong shi yu you xian cha fen fa shu zhi ji suan le rong dan ying nei bu wen du de er wei yan hua gui lv ,yi ji bu tong wei zhi wen du sui shi jian de yan hua gui lv 。ji suan jie guo biao ming ,yan li zi shu ru she fang xiang rong dan ying wen du yan hua gui lv cheng xian lei gao si fen bu ;li zi shu fu zhao ou yu nei ren yi dian de wen du sui shi jian de yan hua gui lv hen da cheng du shang yi lai yu ru she li zi shu de mai chong xing zhuang 。wen zhong li yong re xue zhi shi xiang xi tao lun le guang xue yuan jian biao mian neng liang xi shou dui yuan jian wen du yan hua gui lv de ying xiang 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自物理与工程的李莉,雷雨,滕保华,吴明和,杨宏春,发表于刊物物理与工程2019年03期论文,是一篇关于热传导论文,离子束溅射论文,时域有限差分法论文,温度论文,物理与工程2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自物理与工程2019年03期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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