本文主要研究内容
作者黄晓卷,张亚军,刘佳梅,焦正波,牛建中（2019）在《半导体光生电荷分离及迁移原位X射线光电子能谱仪表征分析系统的研制》一文中研究指出：在确保X射线光电子能谱仪(XPS)原有超高真空系统及性能指标的基础上,设计并研制出一套适用于半导体光生电荷分离及迁移的原位XPS分析测试系统.将XPS与半导体光照体系相结合,实现了外载激发光源与X射线同步照射于半导体表面,观测并记录样品中特征元素结合能峰位数据.通过对比光照前后结合能峰位变化,判定光致激发半导体材料光生电荷分离及迁移的方向及确定其量化数据.
Abstract
zai que bao Xshe xian guang dian zi neng pu yi (XPS)yuan you chao gao zhen kong ji tong ji xing neng zhi biao de ji chu shang ,she ji bing yan zhi chu yi tao kuo yong yu ban dao ti guang sheng dian he fen li ji qian yi de yuan wei XPSfen xi ce shi ji tong .jiang XPSyu ban dao ti guang zhao ti ji xiang jie ge ,shi xian le wai zai ji fa guang yuan yu Xshe xian tong bu zhao she yu ban dao ti biao mian ,guan ce bing ji lu yang pin zhong te zheng yuan su jie ge neng feng wei shu ju .tong guo dui bi guang zhao qian hou jie ge neng feng wei bian hua ,pan ding guang zhi ji fa ban dao ti cai liao guang sheng dian he fen li ji qian yi de fang xiang ji que ding ji liang hua shu ju .
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自分析测试技术与仪器的黄晓卷,张亚军,刘佳梅,焦正波,牛建中，发表于刊物分析测试技术与仪器2019年02期论文，是一篇关于射线光电子能谱仪论文,半导体论文,光生电荷论文,分析测试技术与仪器2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自分析测试技术与仪器2019年02期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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