论文摘要
本文创造性地将化学机械抛光(CMP)技术应用于纺织钢领的抛光中。通过试验表明:相对于传统的磨料流加工(AFM)技术,CMP技术抛光钢领时具有抛光效率高、表面光洁度好等优点。通过正交试验的方法,找出了公转转速、磨料容积比等诸多因素影响下的最好水平组合,并且,应用这种最好组合所做的抛光试验,也取得了令人满意的结果。通过计算流体力学(CFD)的方法,发现料桶形状和转动比对抛光效率也存在着影响。转动比控制着行星料桶内部液固两相的流态特征,而不同的流态特性影响着钢领的抛光效率。将模拟结果与高速摄影的试验进行了对比,结果表明CFD模拟结果是很可靠的。通过对比各种转动比下的特征图,发现随着转动比的增大,行星料桶内部磨料经历了由堆积在料桶一侧到弥散最后再到堆积在料桶四周的一系列的变化过程。而磨料在料桶中的弥散程度对抛光效率的影响也是显著的,当磨料堆积在一侧时,分布在另一侧的钢领难以达到与在磨料中的钢领同样的抛光效果;同样,当磨料紧贴在料桶壁面的四周时,分布在料桶中间的部分钢领也难以很好的抛光,由此,得出了离心抛光机最佳转动比的控制范围。最后,论文主要分析了行星料桶中抛光钢领的抛光机理,并且研究了软质层的生成对磨损率和抛光质量等重要参数的影响。试验及研究表明:在软质层的作用下,随着磨损率的增加,钢领表面的质量相应得到了提高。
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