导读:本文包含了激光剥离论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:柔性电子,激光剥离,聚酰亚胺,界面剥离
激光剥离论文文献综述
周劳伯洋[1]（2019）在《柔性聚酰亚胺薄膜的高可靠激光剥离工艺研究》一文中研究指出聚酰亚胺(Polyimide,PI)由于其耐高温、热变形小、使用寿命长、生物兼容性强等优点,是柔性电子制造工艺中理想的柔性目标基板。为了解决将以PI为基底的超薄功能器件从源生基板大面积、高效率、无损伤地剥离与转移这一技术挑战,激光剥离工艺应运而生。目前,关于PI体系的激光剥离工艺研究尚不充分,为了增进对工艺的理解,增加工艺的可靠性以更好地指导实际应用,本文对激光剥离PI薄膜的阈值、机理、调控、监测四个重要环节进行了系统地研究,主要工作包括:(1)搭建了激光剥离工艺实验原型装备,并依托该实验装备对不同PI厚度和不同激光重复照射次数两种工况下PI薄膜能够被剥离的激光能量密度阈值进行了测定。测定结果表明激光剥离PI薄膜存在一个动态阈值,该阈值能量密度随PI厚度增大而升高,随激光重复照射次数增大而降低。(2)观测了PI-玻璃界面的微观形貌演化,发现PI脱离玻璃基板前界面会产生大量纳米柱状微连接。通过理论模型对激光辐照下界面温度场进行数值仿真,发现该微连接结构的尺度远超激光的热穿透深度。通过测试界面在激光照射后的残余粘附能与表面微观形貌,证实微连接结构的消失降低了界面粘附能并最终使PI脱离。以此为依据提出了激光剥离PI薄膜机理,激光烧蚀PI过程中的气体产物形成的极高气压顶起了薄膜并最终促使薄膜脱离。这一机理对动态阈值可以予以合理解释。(3)测定了激光剥离后的PI薄膜发生质量降级前激光能量密度和重复照射次数两个工艺参数的上限,发现较厚的薄膜相比较薄的薄膜具有更大的工艺窗口。通过对激光照射后薄膜鼓泡高度和轮廓的观测,发现两者工艺窗口区别的原因是较厚的薄膜具有更大的刚度,不易发生过量的塑性变形。据此分别提出了基于控制两个工艺参数和基于上层约束两种工艺调控策略,显着提升了超薄PI薄膜的剥离质量和剥离效率。(4)基于聚偏氟乙烯(PVDF)压电片实现了对激光剥离PI过程中气体冲击效应的实时监测,发现其与激光能量密度存在良好的线性关系,且上层约束能有效增强薄膜抵抗气体冲击的能力。基于电阻应变片实现了激光剥离PI过程中薄膜变形的实时监测,发现薄膜能够剥离的工艺参数下测试信号存在一个阶跃特征,为直观判断薄膜是否剥离提供了可能。两个实验得到的信号均呈现出显着的识别特征和良好的一致性,并对本文的诸多研究结果予以了有力佐证。(本文来源于《华中科技大学》期刊2019-05-01）
陈星[2]（2019）在《准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的特性研究》一文中研究指出聚酰亚胺薄膜作为世界上性能极优的高分子材料,拥有较好的力学性能、机械性能及良好的化学性能,被广泛应用于航天、电气电子、精密机械、柔性显示、交通运输、激光等领域。近年来,随着平板显示业的兴起,聚酰亚胺薄膜在柔性显示器的制造过程中起到十分重要的作用。玻璃基板与柔性衬底的剥离效果对柔性显示器的质量保证至关重要。常见的手段有物理方法、化学方法以及激光剥离。激光剥离是一种通过激光能量使玻璃基板与柔性衬底快速分离的方法,相比其它两种剥离方式,具有作用时间短,热影响区域小,可快速实现剥离等优点,因此可用于工业化生产。准分子激光具有波长短、单光子能量高、可实现平顶激光束等特点,适合作为工业化生产中激光剥离(Laser lift-off)的激光源。本课题利用308nm准分子激光作为光源,搭建准分子激光剥离系统,探究影响准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的相关因素,获得适合准分子激光剥离PI薄膜工业化生产的参数。主要内容包括:1.搭建并调试了准分子激光剥离系统,提供尺寸为100.OmmX 0.3mm的线形光束,最大能量密度可达400mJ/cm2,脉宽30ns。2.分析了准分子激光剥离中的热力学过程,获得任意时刻激光作用下薄膜表面的温度分布,影响因素主要有能量密度、脉冲宽度、环境初始温度、激光脉冲频率,获得了308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的能量密度阈值。3.采用仿真软件模拟了薄膜剥离过程中的表面温度,分别模拟高斯光束和均匀光束下薄膜样品表面的温度场分布。4.实验探究了激光能量密度、光斑重迭率、激光重频率、初始温度对剥离效果的影响。利用扫描电子显微镜对剥离后的样品形貌和薄膜厚度进行观测,结果表明,薄膜剥离的能量密度阈值为160mJ/cm2,在脉冲能量密度达到180mJ/cm2-190mmJ/cm2左右,光斑重迭率为68.17%,脉冲频率为2Hz时,剥离效果较好。提高衬底温度,有利于激光剥离过程。本文理论分析和模拟了准分子激光剥离过程,获得了影响激光剥离的因素,通过实验探究,获得了准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的合适参数,这对于聚酰亚胺薄膜在柔性电子等领域的应用具有一定意义。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2019-05-01）
董博[3]（2019）在《激光剥离—火花诱导击穿光谱及其在铝合金元素分析中的应用》一文中研究指出激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种应用广泛的光谱分析技术,但传统的LIBS技术由于受到等离子体中较强的电子轫致辐射所造成的背景干扰,灵敏度较低。为此,科学家们尝试了多种方法来提高LIBS技术的信号强度和分析灵敏度。本文所采用的火花放电就是其中之一,该技术被称为激光剥离-火花诱导击穿光谱(LA-SIBS)技术。本文首先在低重复频率下开展了LA-SIBS技术的实验研究工作。以一台重复频率为5 Hz的电光调Q Nd:YAG激光器作为激光光源、以一台门控脉冲高压电源作为火花放电的电源,通过实验验证了LA-SIBS技术对于提高光谱信号强度和分析灵敏度的可行性,并对实际操作中火花放电的通道特性进行了细致研究。实验结果表明:在合理的剥离激光能量和电极空间布置下,通过使用带有外触发的脉冲高压电源来调节火花放电的延时时间,可以实现放电通道由“V”字形放电到平行放电的转变。在“V”字形放电时,火花放电会扩大烧蚀坑洞的直径、破坏横向空间分辨率;而在平行放电时,火花放电不会扩大烧蚀坑洞的直径,可以实现其横向空间分辨率仅由激光剥离来决定。实验在平行放电的条件下对铝合金中的铬(Cr)元素进行了定量分析,得到其检出限达到了8.8 ppm,比单纯的LIBS技术改善了8倍。为了提高LIBS技术的分析速度,有必要在高重复频率下开展LIBS技术的相关研究。然而,高重复频率激光器的单脉冲能量普遍较低,难以获得高的光谱分析灵敏度。为了增强等离子体辐射的光谱信号强度,实验将LA-SIBS技术拓展到高重复频率下,这样,既能显着提高系统的分析速度,又能获得较高的光谱分析灵敏度。本文以一台重复频率为1 kHz的声光调Q Nd:YAG激光器作为激光光源,建立了一套HRR LA-SIBS光谱分析系统,通过实验验证了LA-SIBS技术能够在高重复频率下有效工作的可行性,评估了其对铝合金样品中镁(Mg)和铜(Cu)元素的分析性能,并优化了相关的实验参数和实验条件。实验结果表明:利用HRR LA-SIBS技术所测得的镁(Mg)和铜(Cu)元素的检出限分别为14.0和9.9 ppm,比在没有火花放电的情况下提高了8-12倍。HRR LA-SIBS技术不仅提高了分析速度,还可以通过在短时间内平均多次测量来降低背景噪声,改善分析灵敏度。HRR LA-SIBS技术的发展将有望在实现元素快速分析,尤其是在固体样品表面元素分布的高分辨快速成像分析中得到广泛的应用。(本文来源于《华南理工大学》期刊2019-04-08）
周秀杞,李润华,董博,何小勇,陈钰琦[4]（2018）在《用高重频激光剥离——火花诱导击穿光谱分析铝合金样品》一文中研究指出为了提高基于等离子体原子发射光谱元素分析技术的分析速度,在高重复频率的前提下建立了一套激光剥离—火花诱导击穿光谱元素分析系统并以铝合金为样品开展了光谱分析。实验以低脉冲能量的声光调Q固体激光脉冲剥离样品,并触发高压火花放电以增强等离子体辐射、提高光谱分析灵敏度。研究结果表明:在高重频火花放电的作用下,等离子体辐射的峰值强度和弛豫时间分别得到了增强和延长,信号的时间积分强度增强因子可以达到1~2个数量级,且更易于实现时间分辨的信号检测。对铝合金中微量铬元素分析的检出限可达~132ppm。该研究验证了高重频激光剥离—火花诱导击穿光谱用于分析固体样品元素的可行性,其技术有望在固体样品元素的快速分析中发挥一定的作用。该光谱技术能同时兼顾扫描成像的速度、空间分辨率和光谱分析灵敏度,并为固体样品的二维或者叁维元素分布的高分辨快速扫描成像分析提供了一种很好的技术途径。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2018年05期）
周秀杞[5]（2018）在《基于高重频激光剥离—火花诱导击穿光谱技术分析铝合金样品》一文中研究指出传统的激光诱导击穿光谱技术(LIBS)剥离光源都是低重复频率(通常在5-10Hz)激光。但是利用高重复频率的激光作为LIBS技术的光源有很多突出的优势:提高LIBS技术的分析速度,有助于推动LIBS技术在固体样品二维和叁维元素分布成像领域的发展;由于高重复频率激光器的结构简便,这对构建便携式LIBS系统很有帮助;由于高重复频率激光器的低脉冲能量,等离子体的连续背景通常很微弱等等。本文先讨论高重复频率激光光源为固体样品的二维元素分布快速扫描成像奠定技术基础。然后说明随着激光脉冲重复频率的提高,激光的单脉冲能量变得较低,导致在高重频激光作为LIBS的光源的前提下,单脉冲LIBS技术的光谱分析灵敏度不高。最后探究利用低脉冲能量高重复频率激光来剥离固体样品,再利用高压的火花放电来进一步击穿样品形成等离子体,同时增强等离子体中的原子辐射的可行性。本实验在实验室以前的研究成果基础上,采用一台声光调Q的重复频率为1-10kHz可调的Nd:YAG激光器作为样品的剥离光源,在等离子体处用高压火花放电以增强等离子体辐射、提高光谱分析灵敏度。实验首先由单色仪分离出被测光谱信号,再经光电倍增管完成光电转换,通过数字存储示波器显示和记录数据。实验结果表明:在火花放电的作用下,基于高重复频率激光光源的LIBS技术的等离子体辐射的峰值强度和弛豫时间分别得到了增强和延长,信号的时间积分强度增强因子可以达到1-2个数量级,且更易于实现时间分辨的信号检测。对铝合金中微量铬元素分析的检出限可达~132 ppm。同时也对实验的坑洞进行了观察,发现仅在脉冲烧蚀和在脉冲烧蚀火花放电这两种情况下,烧蚀的坑洞形状基本一样。这个表明,在目前的放电条件下,火花放电的信号增强主要是由于火花放电引起等离子体的原子发射强度增强,由于烧蚀更多质量的样品造成对信号增强的影响可以忽略不计。该研究验证了高重频激光剥离—火花诱导击穿光谱用于分析固体样品元素的可行性,其有望在固体样品元素的快速分析中发挥巨大的作用。(本文来源于《华南理工大学》期刊2018-04-13）
黄御,梁勖,朱能伟,潘宁,林颖[6]（2018）在《应用于柔性电子领域的激光剥离技术进展》一文中研究指出柔性电子是可穿戴设备、物联网等应用发展的重要研究方向。激光剥离技术是一种利用激光能量来分离玻璃基板与柔性衬底的技术,具有作用光波长可选、作用时间短、热影响区域小的优点,是目前实现柔性电子器件的最重要技术之一。介绍了激光剥离的主要技术特点,分析其在不同的柔性电子领域的应用,讨论了应用过程中的主要工艺和作用,并总结了激光剥离技术未来的发展趋势。激光剥离技术的快速发展,会对柔性电子行业的研究和发展形成强力支持。(本文来源于《激光技术》期刊2018年04期）
刘凯,杨桂林,王明娣,陈添禹,施克明[7]（2017）在《RG113线缆绝缘外皮激光剥离方法的研究》一文中研究指出线缆被广泛应用在各个领域,但是传统的线缆绝缘层剥离技术在效率、精度方面都存在着不同程度上的缺陷。与传统方法相比,激光剥离技术在效率和精度等方面有着独特的优势。通过对RG113线缆绝缘层激光剥离技术进行理论分析,试验研究探究激光功率、扫描速度、频率、离焦量等参数对RG113线缆绝缘外皮的剥离质量的影响,并基于单因素试验研究结果进行了正交试验优化,得到了较优的剥离加工参数,即平均功率取17 W,激光扫描速度取4 mm/s,频率取45kHz,离焦量取-0.5mm。最后通过该参数对绝缘进行剥离加工分析,绝缘层完全被切透且切口宽度只有0.375mm,达到了较优的剥离效果。(本文来源于《应用激光》期刊2017年06期）
曲华伟,刘辉,刘京生,赵勇,王慕文[8]（2015）在《160W直束绿激光剥离汽化术治疗良性前列腺增生症》一文中研究指出目的探讨160W直束绿激光剥离汽化术治疗良性前列腺增生症的手术方法并评估其安全性和有效性。方法采用中国瑞尔通公司生产的非接触式绿激光治疗系统进行PVP,额定输出汽化功率为160W。通过改进,将侧出式光纤改为直出式光纤,采取逆行边剥离边汽化的手术方式,将前列腺完整剥离的同时又完全汽化。应用该激光对2012年1月至2013年1月共60例良性前列腺增生(BPH)患者行绿激光剥离汽化术,比较术前术后血Na+、K+、Cl-、血红蛋白(Hb)浓度及红细胞压积(HCT)的改变。随访患者术后1个月和3个月的残余尿量、最大尿流率(Qmax)、最大尿流率时逼尿肌压(Pdet/Qmax)等尿动力学指标以及国际前列腺症状评分(IPSS)、生活质量评分(QOLS)等主观感受评分。结果手术时间平均65分钟,术中无明显出血,无1例需要输血。术后3个月,最大尿流率由术前的(6.1±0.9)ml/s上升至(21.1±3.0)ml/s。国际前列腺症状评分由术前的(23.5±4.4)分下降至(8.2±1.3)分,生活质量评分由术前的(5.1±0.3)分下降至(1.8±0.2)分;这叁项指标手术前后比较均有显着性差异。结论直束绿激光剥离汽化术治疗良性前列腺增生症安全有效。(本文来源于《泌尿外科杂志(电子版)》期刊2015年03期）
陈钰琦,磨俊宇,周奇,楼洋,李润华[9]（2015）在《银饰品中铜杂质含量的激光剥离-激光诱导击穿光谱定量分析》一文中研究指出正交双波长双脉冲的激光剥离-激光诱导击穿光谱技术能够在较少样品烧蚀的前提下获得高的光谱分析灵敏度,因此该技术可以从根本上解决在单脉冲激光诱导击穿光谱技术中空间分辨本领与光谱分析灵敏度之间的矛盾。为了消除在该光谱技术中的实验参数对光谱信号强度及其定量分析结果的影响,实验研究了银饰品中杂质铜的光谱信号与银元素的光谱信号的相关性。研究结果表明:324.75 nn的铜原子辐射线与328.07 nm的银原子辐射线的强度呈很高的线性相关性,因此选择以银328.07 nm的光谱线作为内标线,采用内标法就可以消除双光束激光的空间几何配置以及剥离激光脉冲能量等实验参数对铜原子辐射信号的影响,从而可以采用正交双波长双脉冲激光剥离——激光诱导击穿光谱技术开展银饰品中铜杂质含量的定量分析。选择银328.07 nm的光谱线作为内标线,基于内标法建立了铜的校正曲线。当激光烧蚀坑洞直径约为17μm时,当前实验条件下银饰品中铜元素的检出限可以达到44 ppm。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2015年03期）
王宏,云峰,刘硕,黄亚平,王越[10]（2015）在《晶圆键合和激光剥离工艺对GaN基垂直结构发光二极管芯片残余应力的影响》一文中研究指出Ga N基发光二极管(LED)中的残余应力状态对器件的性能和稳定性有很大影响.通过使用叁种不同的键合衬底(Al2O3衬底,Cu W衬底和Si衬底)以及改变键合温度(290°C,320°C,350°C和380°C),并且使用不同的激光能量密度(875,945和1015 m J·cm-2)进行激光剥离,制备了不同应力状态的Ga N基LED器件.对不同条件下Ga N LED进行弯曲度、Raman散射谱测试.实验结果表明,垂直结构LED中的残余应力的状态是键合衬底和键合金属共同作用的结果,而键合温度影响着垂直结构LED中的残余应力的大小.激光剥离过程中,一定能量密度下激光剥离工艺一般不会对芯片中的残余应力造成影响,但是如果该工艺对Ga N层造成了微裂缝,则会在一定程度上起到释放残余应力的作用.使用Si衬底键合后,外延蓝宝石衬底翘曲变大,对应制备的Ga N基垂直结构LED中的残余应力为张应力,并且随着键合温度的上升而变大;而Al2O3和Cu W衬底制备的LED中的残余应力为压应力,但使用Al2O3衬底键合制备的LED中压应力随键合温度上升而一定程度变大,Cu W衬底制备的LED中压应力随键合温度上升而下降.(本文来源于《物理学报》期刊2015年02期）
激光剥离论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
聚酰亚胺薄膜作为世界上性能极优的高分子材料,拥有较好的力学性能、机械性能及良好的化学性能,被广泛应用于航天、电气电子、精密机械、柔性显示、交通运输、激光等领域。近年来,随着平板显示业的兴起,聚酰亚胺薄膜在柔性显示器的制造过程中起到十分重要的作用。玻璃基板与柔性衬底的剥离效果对柔性显示器的质量保证至关重要。常见的手段有物理方法、化学方法以及激光剥离。激光剥离是一种通过激光能量使玻璃基板与柔性衬底快速分离的方法,相比其它两种剥离方式,具有作用时间短,热影响区域小,可快速实现剥离等优点,因此可用于工业化生产。准分子激光具有波长短、单光子能量高、可实现平顶激光束等特点,适合作为工业化生产中激光剥离(Laser lift-off)的激光源。本课题利用308nm准分子激光作为光源,搭建准分子激光剥离系统,探究影响准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的相关因素,获得适合准分子激光剥离PI薄膜工业化生产的参数。主要内容包括:1.搭建并调试了准分子激光剥离系统,提供尺寸为100.OmmX 0.3mm的线形光束,最大能量密度可达400mJ/cm2,脉宽30ns。2.分析了准分子激光剥离中的热力学过程,获得任意时刻激光作用下薄膜表面的温度分布,影响因素主要有能量密度、脉冲宽度、环境初始温度、激光脉冲频率,获得了308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的能量密度阈值。3.采用仿真软件模拟了薄膜剥离过程中的表面温度,分别模拟高斯光束和均匀光束下薄膜样品表面的温度场分布。4.实验探究了激光能量密度、光斑重迭率、激光重频率、初始温度对剥离效果的影响。利用扫描电子显微镜对剥离后的样品形貌和薄膜厚度进行观测,结果表明,薄膜剥离的能量密度阈值为160mJ/cm2,在脉冲能量密度达到180mJ/cm2-190mmJ/cm2左右,光斑重迭率为68.17%,脉冲频率为2Hz时,剥离效果较好。提高衬底温度,有利于激光剥离过程。本文理论分析和模拟了准分子激光剥离过程,获得了影响激光剥离的因素,通过实验探究,获得了准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的合适参数,这对于聚酰亚胺薄膜在柔性电子等领域的应用具有一定意义。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
激光剥离论文参考文献
[1].周劳伯洋.柔性聚酰亚胺薄膜的高可靠激光剥离工艺研究[D].华中科技大学.2019
[2].陈星.准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜的特性研究[D].中国科学技术大学.2019
[3].董博.激光剥离—火花诱导击穿光谱及其在铝合金元素分析中的应用[D].华南理工大学.2019
[4].周秀杞,李润华,董博,何小勇,陈钰琦.用高重频激光剥离——火花诱导击穿光谱分析铝合金样品[J].光谱学与光谱分析.2018
[5].周秀杞.基于高重频激光剥离—火花诱导击穿光谱技术分析铝合金样品[D].华南理工大学.2018
[6].黄御,梁勖,朱能伟,潘宁,林颖.应用于柔性电子领域的激光剥离技术进展[J].激光技术.2018
[7].刘凯,杨桂林,王明娣,陈添禹,施克明.RG113线缆绝缘外皮激光剥离方法的研究[J].应用激光.2017
[8].曲华伟,刘辉,刘京生,赵勇,王慕文.160W直束绿激光剥离汽化术治疗良性前列腺增生症[J].泌尿外科杂志(电子版).2015
[9].陈钰琦,磨俊宇,周奇,楼洋,李润华.银饰品中铜杂质含量的激光剥离-激光诱导击穿光谱定量分析[J].光谱学与光谱分析.2015
[10].王宏,云峰,刘硕,黄亚平,王越.晶圆键合和激光剥离工艺对GaN基垂直结构发光二极管芯片残余应力的影响[J].物理学报.2015