李安:厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征论文

李安:厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征论文

本文主要研究内容

作者李安,李霞,王云锋,张广安,万善宏(2019)在《厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征》一文中研究指出:目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜,改善SUS304不锈钢的耐磨性与耐蚀性,拓展其使用范围。方法使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,在C2H2-SiH4气氛中,通过Six-DLC与Siy-DLC交替沉积的制备方法,以SUS304不锈钢为基底,制备了厚度为20.0、34.9、41.6μm的三种不同调制比(1∶5、1∶1、4∶1)的厚类金刚石碳基薄膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱、纳米压痕仪、RST3划痕仪,分析了厚DLC薄膜的微观结构与力学性能。利用CSM摩擦磨损试验机评价厚DLC薄膜的摩擦学性能,并用能谱仪对磨斑成分进行分析。利用电化学工作站分析厚DLC薄膜的腐蚀行为,并用扫描电镜观察腐蚀形貌。结果厚DLC薄膜结构致密,强化效果明显,硬度最高达13.8GPa,结合力在21~29N范围内。SUS304不锈钢的摩擦系数在跑和阶段急速升高至0.5,随着滑动次数的增加,呈上升趋势,1 h后,磨损率无法用轮廓仪测量。厚DLC薄膜在低载荷与高载荷下的摩擦系数始终保持在0.05~0.2之间,磨损率低至9.4×10-17mm3/(N·m)。电化学测试表明,SUS304不锈钢的腐蚀电位为-0.49V,腐蚀电流密度为1.46×10-6A/cm2。与SUS304不锈钢相比,三种厚度的DLC薄膜腐蚀电位正移、极化电阻升高,腐蚀电流密度最大可降低3个数量级。结论厚DLC薄膜的应用可以有效降低摩擦磨损,腐蚀倾向相比于不锈钢明显降低,具有良好的耐腐蚀性。

Abstract

mu de she ji duo ceng can Sijiao ti chen ji de hou DLCbao mo ,gai shan SUS304bu xiu gang de nai mo xing yu nai shi xing ,ta zhan ji shi yong fan wei 。fang fa shi yong deng li zi zeng jiang hua xue qi xiang chen ji (PECVD)ji shu ,zai C2H2-SiH4qi fen zhong ,tong guo Six-DLCyu Siy-DLCjiao ti chen ji de zhi bei fang fa ,yi SUS304bu xiu gang wei ji de ,zhi bei le hou du wei 20.0、34.9、41.6μmde san chong bu tong diao zhi bi (1∶5、1∶1、4∶1)de hou lei jin gang dan tan ji bao mo 。li yong sao miao dian zi xian wei jing 、yuan zi li xian wei jing 、la man guang pu 、na mi ya hen yi 、RST3hua hen yi ,fen xi le hou DLCbao mo de wei guan jie gou yu li xue xing neng 。li yong CSMma ca mo sun shi yan ji ping jia hou DLCbao mo de ma ca xue xing neng ,bing yong neng pu yi dui mo ban cheng fen jin hang fen xi 。li yong dian hua xue gong zuo zhan fen xi hou DLCbao mo de fu shi hang wei ,bing yong sao miao dian jing guan cha fu shi xing mao 。jie guo hou DLCbao mo jie gou zhi mi ,jiang hua xiao guo ming xian ,ying du zui gao da 13.8GPa,jie ge li zai 21~29Nfan wei nei 。SUS304bu xiu gang de ma ca ji shu zai pao he jie duan ji su sheng gao zhi 0.5,sui zhao hua dong ci shu de zeng jia ,cheng shang sheng qu shi ,1 hhou ,mo sun lv mo fa yong lun kuo yi ce liang 。hou DLCbao mo zai di zai he yu gao zai he xia de ma ca ji shu shi zhong bao chi zai 0.05~0.2zhi jian ,mo sun lv di zhi 9.4×10-17mm3/(N·m)。dian hua xue ce shi biao ming ,SUS304bu xiu gang de fu shi dian wei wei -0.49V,fu shi dian liu mi du wei 1.46×10-6A/cm2。yu SUS304bu xiu gang xiang bi ,san chong hou du de DLCbao mo fu shi dian wei zheng yi 、ji hua dian zu sheng gao ,fu shi dian liu mi du zui da ke jiang di 3ge shu liang ji 。jie lun hou DLCbao mo de ying yong ke yi you xiao jiang di ma ca mo sun ,fu shi qing xiang xiang bi yu bu xiu gang ming xian jiang di ,ju you liang hao de nai fu shi xing 。

论文参考文献

  • [1].用于延长精密工具寿命的离子打入[J]. 李学之.  机械设计与制造.1986(02)
  • [2].涂层弹性模量的测量方法[J]. 程应科,张建军,徐连勇.  中国科技论文在线.2008(04)
  • [3].蒸镀薄膜技术在机械制造中的应用[J]. 王忠恕.  机械工程材料.1982(03)
  • [4].海外文献速递[J].   材料保护.1999(04)
  • [5].零件表面可剥离封存薄膜技术的发展概况[J]. 曹钰,刘世参.  中国表面工程.2000(02)
  • [6].环境温度对Ti-Mo-N薄膜摩擦磨损性能的影响[J]. 鞠洪博,汪然,喻利花,许俊华.  江苏科技大学学报(自然科学版).2019(05)
  • [7].用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究[J]. 常海波,徐洮,李红轩,张治军,刘惠文.  摩擦学学报.2005(04)
  • [8].直流射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石碳薄膜的结构及摩擦学性能研究[J]. 李红轩,徐洮,陈建敏,周惠娣,刘惠文.  摩擦学学报.2004(01)
  • [9].类金刚石/碳化钨多层膜的制备及其结构[J]. 林松盛,周克崧,代明江.  中国有色金属学报.2013(02)
  • [10].真空物理气相离子沉积超硬薄膜技术及动向(上)[J]. 黄锡森.  机械科学与技术.1990(02)
  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自表面技术的李安,李霞,王云锋,张广安,万善宏,发表于刊物表面技术2019年04期论文,是一篇关于不锈钢论文,厚薄膜论文,耐磨损论文,耐腐蚀论文,表面技术2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自表面技术2019年04期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

    标签:;  ;  ;  ;  ;  

    李安:厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征论文
    下载Doc文档

    猜你喜欢