本文主要研究内容
作者罗福源,焦银亮,杨杰（2019）在《半导体材料电火花线切割新型弯丝检测方法研究》一文中研究指出：电火花线切割半导体材料时,由于材料体电阻较大且存在接触势垒,即使在与电极丝发生接触构成电路短路的情况下,也能继续加工。由于放电间隙狭窄及工作液干扰严重,难以安装常规的传感器进行弯丝检测,而目前常用的电流脉冲概率检测法与往复渐进运动控制法并不能判断电路是否短路,无法真正避免电极丝弯丝故障。为此,提出了一种新型弯丝检测方法,其原理是在电极丝后侧增加一根与其平行的金属丝构成弯丝检测电路,同时设计专用的双平面定位机构进行检测丝的装夹与定位。据此原理试制了弯丝检测原型装置并进行了硅锭切割实验,结果表明:该方法可快速、准确、可靠地判断弯丝状态,减小电极丝断丝概率,提高加工效率。
Abstract
dian huo hua xian qie ge ban dao ti cai liao shi ,you yu cai liao ti dian zu jiao da ju cun zai jie chu shi lei ,ji shi zai yu dian ji si fa sheng jie chu gou cheng dian lu duan lu de qing kuang xia ,ye neng ji xu jia gong 。you yu fang dian jian xi xia zhai ji gong zuo ye gan rao yan chong ,nan yi an zhuang chang gui de chuan gan qi jin hang wan si jian ce ,er mu qian chang yong de dian liu mai chong gai lv jian ce fa yu wang fu jian jin yun dong kong zhi fa bing bu neng pan duan dian lu shi fou duan lu ,mo fa zhen zheng bi mian dian ji si wan si gu zhang 。wei ci ,di chu le yi chong xin xing wan si jian ce fang fa ,ji yuan li shi zai dian ji si hou ce zeng jia yi gen yu ji ping hang de jin shu si gou cheng wan si jian ce dian lu ,tong shi she ji zhuan yong de shuang ping mian ding wei ji gou jin hang jian ce si de zhuang ga yu ding wei 。ju ci yuan li shi zhi le wan si jian ce yuan xing zhuang zhi bing jin hang le gui ding qie ge shi yan ,jie guo biao ming :gai fang fa ke kuai su 、zhun que 、ke kao de pan duan wan si zhuang tai ,jian xiao dian ji si duan si gai lv ,di gao jia gong xiao lv 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自电加工与模具的罗福源,焦银亮,杨杰，发表于刊物电加工与模具2019年01期论文，是一篇关于电火花线切割加工论文,微接触论文,弯丝检测论文,半导体材料论文,电加工与模具2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自电加工与模具2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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