微旋转论文-黄本松

微旋转论文-黄本松

导读:本文包含了微旋转论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:微旋转平台,磁驱动系统,单液滴支承,承载性能

微旋转论文文献综述

黄本松[1](2017)在《单液滴支承磁驱动微旋转平台仿真与实验研究》一文中研究指出随着微机电技术的进步,微旋转平台技术得到了快速发展。采用固体轴承结构的微旋转平台难以避免固体摩擦对运动性能的影响,而气体轴承和非接触式轴承对制造精度要求高,且控制方式复杂。采用液体支承结构的微旋转平台能克服固体摩擦的限制,具有很好的柔顺性,并且结构比气体轴承和非接触式轴承简单,具有重要的研究意义。本文以单液滴支承的磁驱动微旋转平台为研究对象,基于毛细液桥结构以及磁驱动方式,建立理论和仿真模型,分析了不同参数对其承载性能、运动性能和抗干扰性能的影响。建立单液滴支承磁驱动微旋转平台的实验系统,在不同参数下进行实验分析和验证。首先,针对单液滴支承微旋转平台的液桥结构,提出自由型和限制型两种基底配置。基于Young-Laplace方程,利用二分法通过数值迭代求解液桥轮廓,进而计算作用于微旋转平台的毛细力。基于Surface Evolver,建立毛细液桥的有限元仿真模型,对液桥毛细力进行计算,并与微分方程方法进行对比。根据微旋转平台的结构,提出单液滴支承微旋转平台承载能力的评价指标。分析接触角和基底尺寸等参数对两种基底配置下微旋转平台承载能力的影响,并对两种基底配置进行了对比。其次,基于亥姆霍茨线圈原理,推导产生绕任意轴的旋转磁场的控制算法。基于COMSOL Multiphysics,建立旋转磁场的仿真模型,并分析了磁场作用于微旋转平台的磁驱动力矩。建立流体摩擦阻力模型,分析粘度和旋转频率对阻力矩的影响。结合微旋转平台受到的磁力矩以及流体摩擦力矩,对微旋转平台能达到的最大旋转频率进行分析,研究不同参数对其最大旋转频率的影响。基于液桥理论模型,在抗拉伸、抗剪切、抗侧倾叁个方面分析微旋转平台的抗干扰特性,研究了液桥不同参数对抗干扰特性的影响。最后,进行单液滴支承的磁驱动微旋转平台的毛细力学实验研究和旋转特性实验研究。建立了液桥毛细力测试系统,在两种基底配置下测量了液桥毛细作用力,并与仿真得到的毛细力结果进行对比,验证了液桥毛细力学仿真模型的正确性。建立了单液滴支承磁驱动微旋转平台的旋转驱动与测试系统,在绕竖直轴连续旋转、绕倾斜轴连续旋转以及步进旋转叁个方面对微旋转平台的运动性能进行了实验研究,获得了不同接触角、液桥体积、液体粘度以及磁场强度等条件对其各种运动形式下运动性能的影响规律。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2017-06-01)

于映,丁可柯,花婷婷,薄亚明,张明[2](2014)在《微旋转结构法测量Al薄膜的残余应力》一文中研究指出薄膜的残余应力是影响MEMS器件工作可靠性和稳定性的重要因素,微旋转结构法能够简单有效地测量薄膜的残余应力。文中采用MEMS工艺制作Al薄膜微旋转结构,根据微旋转结构法对Al薄膜的残余应力进行了测量和计算。实验结果表明,溅射Al膜的残余应力为张应力,大小在80~110 GPa之间。对Al薄膜悬梁进行静电驱动,其驱动电压为31~34 V,与根据Al膜残余应力的测量值所计算出的驱动电压基本吻合。(本文来源于《南京邮电大学学报(自然科学版)》期刊2014年01期)

杨岳民[3](2012)在《6×31WS-PWRC—14微旋转钢丝绳试制》一文中研究指出介绍6×31WS-PWRC—14钢丝绳设计、生产过程。钢丝绳主要工艺设计参数:钢丝绳捻距倍数为7,外层1×31WS股捻距倍数为7.5,内层1×7股捻距倍数为7.5;钢丝绳捻制系数为3.07,外层股捻制系数为5.07,内层股捻制系数为3.05。根椐股捻距倍数,确定股中各钢丝直径比,最终计算出各股钢丝直径。给出钢丝绳生产工艺:外层股捻距为33.7~35.1 mm,内层股捻距14.7~15.3 mm,中心股捻距16.9~17.6 mm,钢丝绳捻距为96.6~100.8 mm;预变形器的辊间距一般为钢丝绳捻距的86%~92%,压弯量为钢丝绳直径的1.4~1.6倍。通过改变生产工艺,生产的6×31WS-PWRC—14钢丝绳破断拉力比普通方法捻制的钢丝绳高9.3%,并达到微旋转的要求。(本文来源于《金属制品》期刊2012年02期)

徐红玉,薛冰冰,梁斌,孙清勇[4](2011)在《耦合横向和微旋转波的界面反射与折射》一文中研究指出基于广义微极磁热弹模型讨论了两微极弹性固体介质平面界面上耦合横向和微旋转波的反射与折射问题.利用两微极弹性固体平面分界面上位移和应力连续条件,建立了反射与折射波振幅的线性系统方程.数值计算给出各类反射、折射波振幅随耦合横向和微旋转波入射角的变化关系曲线.研究了热松弛时间对反射和折射热波、纵向位移波、耦合横向和微旋转波的振幅比的影响.结果表明,热松弛时间对热波、纵向位移波影响显着,而对耦合横向和微旋转波影响很小.(本文来源于《北京理工大学学报》期刊2011年09期)

虞益挺,苑伟政,乔大勇[5](2005)在《微旋转结构在薄膜应力测量中的应用》一文中研究指出利用有限元仿真方法,研究了微旋转结构几何参数对结构应变响应的影响。结果表明,固定梁与旋转梁的长度以及这两种梁连接部分的宽度和连接中心距都对结构的应变响应具有较显着的影响,而梁的宽度及连接部分的长度对应变响应的影响可忽略,因此,需要综合考虑以达到结构的优化设计。给出了一组旋转结构的设计参数。(本文来源于《中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)》期刊2005-08-01)

王珂,马素杰[6](1995)在《一种微旋转弹电子时间引信用铅酸电池的研究》一文中研究指出通过对已往贮液电池在引信上的应用分析,介绍一种在低过载、微旋转或无旋转条件下电子时间引信用贮液铅一高氯酸电他的新设计。独特的圆筒状单元电地结构,它在规定条件下以低电压、大电流输出,具有激活时间短、工作时间长、高可靠性的特点。使用时与DC—DC变换器联用。电池经各种环境条件试验和引信实际使用,满足各项技术指标要求。(本文来源于《现代引信》期刊1995年04期)

微旋转论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

薄膜的残余应力是影响MEMS器件工作可靠性和稳定性的重要因素,微旋转结构法能够简单有效地测量薄膜的残余应力。文中采用MEMS工艺制作Al薄膜微旋转结构,根据微旋转结构法对Al薄膜的残余应力进行了测量和计算。实验结果表明,溅射Al膜的残余应力为张应力,大小在80~110 GPa之间。对Al薄膜悬梁进行静电驱动,其驱动电压为31~34 V,与根据Al膜残余应力的测量值所计算出的驱动电压基本吻合。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

微旋转论文参考文献

[1].黄本松.单液滴支承磁驱动微旋转平台仿真与实验研究[D].哈尔滨工业大学.2017

[2].于映,丁可柯,花婷婷,薄亚明,张明.微旋转结构法测量Al薄膜的残余应力[J].南京邮电大学学报(自然科学版).2014

[3].杨岳民.6×31WS-PWRC—14微旋转钢丝绳试制[J].金属制品.2012

[4].徐红玉,薛冰冰,梁斌,孙清勇.耦合横向和微旋转波的界面反射与折射[J].北京理工大学学报.2011

[5].虞益挺,苑伟政,乔大勇.微旋转结构在薄膜应力测量中的应用[C].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一).2005

[6].王珂,马素杰.一种微旋转弹电子时间引信用铅酸电池的研究[J].现代引信.1995

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