本文主要研究内容
作者王雄,许晓斌,王南天,杜家坤,张阔（2019）在《微量摩阻天平旋转加载校准装置研制》一文中研究指出：为实现对微量摩阻天平/MEMS摩阻传感器进行静态校准研究,并且需要能够模拟高超声速风洞试验环境压力,建立微量摩阻天平旋转加载校准装置,对该校准装置的总体方案、旋转加载台体系统、真空系统和测控系统等进行研究。首先,提出基于离心力等效原理和真空箱体内单轴旋转加载方法的校准装置研制方案,开展旋转加载校准原理和校准装置总体方案研究。然后,分别对单轴旋转加载台体系统、模拟不同风洞试验环境压力的真空系统、旋转加载台体和真空箱体的磁流体动态密封以及专用的测控系统等方案进行详细设计。最后,完成校准装置研制,对该校准装置进行技术指标检测,并对研制的MEMS摩阻传感器样机开展校准应用。结果表明:微量摩阻旋转加载校准装置的速率范围在0.01～3 600°/s连续可调,速率精度优于0.01°/s,真空度20～5 000 Pa精密可测可控;静校的MEMS摩阻传感器样机输出稳定、回零好,测量范围均为0～100 Pa,分辨率为0.1 Pa,重复性精度和线性度优于1%。该校准装置速率精度高、稳定性好,校准过程中真空箱体的真空度可在30 min内达到20 Pa并得到很好保持,满足微量摩阻天平/MEMS摩阻传感器静态校准需求。
Abstract
wei shi xian dui wei liang ma zu tian ping /MEMSma zu chuan gan qi jin hang jing tai jiao zhun yan jiu ,bing ju xu yao neng gou mo ni gao chao sheng su feng dong shi yan huan jing ya li ,jian li wei liang ma zu tian ping xuan zhuai jia zai jiao zhun zhuang zhi ,dui gai jiao zhun zhuang zhi de zong ti fang an 、xuan zhuai jia zai tai ti ji tong 、zhen kong ji tong he ce kong ji tong deng jin hang yan jiu 。shou xian ,di chu ji yu li xin li deng xiao yuan li he zhen kong xiang ti nei chan zhou xuan zhuai jia zai fang fa de jiao zhun zhuang zhi yan zhi fang an ,kai zhan xuan zhuai jia zai jiao zhun yuan li he jiao zhun zhuang zhi zong ti fang an yan jiu 。ran hou ,fen bie dui chan zhou xuan zhuai jia zai tai ti ji tong 、mo ni bu tong feng dong shi yan huan jing ya li de zhen kong ji tong 、xuan zhuai jia zai tai ti he zhen kong xiang ti de ci liu ti dong tai mi feng yi ji zhuan yong de ce kong ji tong deng fang an jin hang xiang xi she ji 。zui hou ,wan cheng jiao zhun zhuang zhi yan zhi ,dui gai jiao zhun zhuang zhi jin hang ji shu zhi biao jian ce ,bing dui yan zhi de MEMSma zu chuan gan qi yang ji kai zhan jiao zhun ying yong 。jie guo biao ming :wei liang ma zu xuan zhuai jia zai jiao zhun zhuang zhi de su lv fan wei zai 0.01～3 600°/slian xu ke diao ,su lv jing du you yu 0.01°/s,zhen kong du 20～5 000 Pajing mi ke ce ke kong ;jing jiao de MEMSma zu chuan gan qi yang ji shu chu wen ding 、hui ling hao ,ce liang fan wei jun wei 0～100 Pa,fen bian lv wei 0.1 Pa,chong fu xing jing du he xian xing du you yu 1%。gai jiao zhun zhuang zhi su lv jing du gao 、wen ding xing hao ,jiao zhun guo cheng zhong zhen kong xiang ti de zhen kong du ke zai 30 minnei da dao 20 Pabing de dao hen hao bao chi ,man zu wei liang ma zu tian ping /MEMSma zu chuan gan qi jing tai jiao zhun xu qiu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自中国测试的王雄,许晓斌,王南天,杜家坤,张阔，发表于刊物中国测试2019年01期论文，是一篇关于微量摩阻天平论文,校准装置论文,旋转加载论文,真空系统论文,中国测试2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自中国测试2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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