周瑜:基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究论文

周瑜:基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究论文

本文主要研究内容

作者周瑜,涂其捷,朱晓枭,刘云飞(2019)在《基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究》一文中研究指出:本文提出了一种用加热金属铂丝作为敏感单元的MEMS矢量水听器设计原理,该水听器主要用于测量声场质点振速信号。针对水听器灵敏度等性能优化难点问题,探讨其声-热-电多物理场能量转换机理,仿真计算不同金属铂丝间距等对水听器灵敏度的影响参数,优化敏感单元参数设计,提升MEMS矢量水听器接收性能。

Abstract

ben wen di chu le yi chong yong jia re jin shu bo si zuo wei min gan chan yuan de MEMSshi liang shui ting qi she ji yuan li ,gai shui ting qi zhu yao yong yu ce liang sheng chang zhi dian zhen su xin hao 。zhen dui shui ting qi ling min du deng xing neng you hua nan dian wen ti ,tan tao ji sheng -re -dian duo wu li chang neng liang zhuai huan ji li ,fang zhen ji suan bu tong jin shu bo si jian ju deng dui shui ting qi ling min du de ying xiang can shu ,you hua min gan chan yuan can shu she ji ,di sheng MEMSshi liang shui ting qi jie shou xing neng 。

论文参考文献

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  • 读者推荐
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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自中国声学学会水声学分会2019年学术会议的周瑜,涂其捷,朱晓枭,刘云飞,发表于刊物中国声学学会水声学分会2019年学术会议2019-05-25论文,是一篇关于矢量水听器论文,质点振速论文,金属铂丝论文,中国声学学会水声学分会2019年学术会议2019-05-25论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自中国声学学会水声学分会2019年学术会议2019-05-25论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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