本文主要研究内容
作者王迪,陈仲武,刘建民,高津平（2019）在《基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析》一文中研究指出：由于硫酸与双氧水混合溶液(SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture)具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其弹性模量相对于金属较小,为保证该类卡盘的良好性能,采用有限元方法,通过数值模拟研究影响其形变因素,并在此基础上,提出了四种优化结构,能有效地提升卡盘性能;与金属相比,氟塑料的线性膨胀系数较大,采用热力耦合方法,研究氟塑料卡盘在高温下形变,比如PTFE(聚四氟乙烯)材质卡盘的最大径向位移在设计温度下约增加34.5%。因此,为保证氟塑料卡盘性能,温度不可忽略。
Abstract
you yu liu suan yu shuang yang shui hun ge rong ye (SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture)ju you ji jiang de yang hua he fu shi xing ,yi ban cai zhi de chan pian ka pan bu zai kuo yong ,fu su liao an fan ying yong yu SPMgong yi ,dan ji dan xing mo liang xiang dui yu jin shu jiao xiao ,wei bao zheng gai lei ka pan de liang hao xing neng ,cai yong you xian yuan fang fa ,tong guo shu zhi mo ni yan jiu ying xiang ji xing bian yin su ,bing zai ci ji chu shang ,di chu le si chong you hua jie gou ,neng you xiao de di sheng ka pan xing neng ;yu jin shu xiang bi ,fu su liao de xian xing peng zhang ji shu jiao da ,cai yong re li ou ge fang fa ,yan jiu fu su liao ka pan zai gao wen xia xing bian ,bi ru PTFE(ju si fu yi xi )cai zhi ka pan de zui da jing xiang wei yi zai she ji wen du xia yao zeng jia 34.5%。yin ci ,wei bao zheng fu su liao ka pan xing neng ,wen du bu ke hu lve 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自电子工业专用设备的王迪,陈仲武,刘建民,高津平，发表于刊物电子工业专用设备2019年04期论文，是一篇关于硫酸与双氧水混合溶液论文,氟塑料卡盘论文,形变论文,结构优化论文,热力耦合论文,电子工业专用设备2019年04期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自电子工业专用设备2019年04期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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