论文摘要
介质阻挡放电是低温等离子体发生的主要方式之一,被广泛用于臭氧产生、材料表面改性等领域,受到人们的关注。介质阻挡放电采用高压交流电源供电,因此,电源输出的波形、电压和频率,以及匹配负载能力等特性直接关系到介质阻挡放电等离子体的应用效果。本文依据逆变调频和高频升压的电路原理,对电源的整流电路、斩波电路、逆变电路、控制电路、驱动及保护电路、显示电路,以及高频变压器的结构参数及绕制方法等进行了详细的分析和设计,给出了高频高压电源的整体设计方法,并对整机进行调试给出了调试波形,制作了电源样机。其中,样机由两部分构成,即变频电源单元和高频升压单元。该变频电源输出指标为:方波输出;电压有效值0~220V;频率为50Hz-20kHz连续可调;数字显示。高频升压变压器性能指标为:变比为1:70;配合变频电源可实现高压输出20kV(最大值)可调,频率5k-20kHz可调。同时该变频电源可匹配低频变压器,在1kHz以下实现中频高压输出,具有很好的耐负载能力。本设计制作的高频高压电源应用于同轴圆柱式的介质阻挡放电臭氧发生器中,负载接入后电源输出特性基本不变;当采用空气供气,气体流量0.06m3/h,电压有效值15kV,频率20kHz时臭氧产生量为18g/m3,与50Hz高压电源供电比较,能量利用效率显著提高,达到本文的研究目的。
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