论文摘要
近年来,在低气压、低温等离子体研究和应用中的一个重要发展是微波电子回旋共振放电。由于它是一种无极放电,能够在低气压下产生高密度、高电力度、大体积均匀的等离子体。所以在等离子体物理研究成为一个十分引人注目的领域。本文以大连理工大学三束材料改性国家重点实验室微波电子回旋共振等离子体装置为背景,运用电动力学理论,建立了磁场线圈产生磁场的数学模型;运用等离子体磁流体力学理论,建立了微波电子回旋共振等离子体的数学模型。在建立模型中,根据装置的特性作了轴对称假设;用三维优化复化Simpson数值积分公式数值计算了磁场和共振区;进而由电子、离子的质量守恒方程,电子的能量方程以及电场满足的高斯定理建立了电子回旋共振等离子体模型,用有限体积法数值求解了等离子体满足的微分方程初边值问题,得到了各物理量随时间演化及空间分布的结果,并对数值结果进行了分析,给出相应的结论。第一章主要介绍了等离子体的概念,电子回旋共振等离子体的工作原来、应用以及低温等离子体放电的各种分析模型;第二章给出了微波电子回旋共振等离子体数学模型,包括磁场模型和等离子体模型,然后对方程进行化简,并给出了初值条件、边界条件第三章给介绍了求解模型所用到的数学知识,包括求解三重数值积分的优化复化simpson公式,求解微分方程的有限体积法以及求解大型系数线性方程组的带状高斯消元法;第四章给出了磁场和等离子体数值模拟的结果,并对结果进行了分析;最后对本文的工作做了总结和展望。
论文目录
相关论文文献
- [1].椭球型等能面电子回旋共振有效质量的计算[J]. 大学物理 2015(03)
- [2].电子回旋共振波射频溅射系统设计[J]. 真空 2013(06)
- [3].同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响[J]. 辽东学院学报(自然科学版) 2013(04)
- [4].Langmuir单探针诊断电子回旋共振等离子体参数分布特性[J]. 大学物理实验 2009(03)
- [5].电子回旋共振放电中电子与微波互作用特性的粒子模拟和蒙特卡罗碰撞模拟[J]. 物理学报 2009(08)
- [6].电子回旋共振波等离子体及其应用[J]. 真空科学与技术学报 2016(03)
- [7].电子回旋共振等离子体中TMG的离解氢对气相沉积氮化镓薄膜的影响[J]. 真空科学与技术学报 2017(04)
- [8].电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究[J]. 真空科学与技术学报 2013(10)
- [9].电子回旋共振推力器中和器内磁场与微波电磁场计算分析[J]. 固体火箭技术 2009(04)
- [10].电子回旋共振推力器放电室内磁场与微波电磁场分析[J]. 中国空间科学技术 2009(02)
- [11].电子回旋共振离子推力器放电室等离子体数值模拟[J]. 物理学报 2010(12)
- [12].半导体中电子回旋共振有效质量的量子理论推导[J]. 大学物理 2020(07)
- [13].科学新闻[J]. 科学观察 2008(06)
- [14].离子源内电子回旋共振等离子体诊断与分析[J]. 高电压技术 2015(09)
- [15].电子回旋共振离子推力器放电室低信号调试[J]. 推进技术 2011(03)
- [16].电子回旋共振等离子体推力器放电机理数值模拟研究[J]. 推进技术 2018(09)
- [17].微波电子回旋共振等离子体放电特性研究[J]. 华南师范大学学报(自然科学版) 2009(02)
- [18].FTIR监测金刚石薄膜生长的研究[J]. 光谱学与光谱分析 2008(05)
- [19].电子回旋共振离子推力器的研究进展[J]. 真空与低温 2017(05)
- [20].电子回旋共振等离子体辅助脉冲式沉积氧化铝薄膜的研究[J]. 真空科学与技术学报 2010(03)
- [21].ECR氧离子源及整体分离环RFQ加速器低能输运系统的研制[J]. 中国物理C 2008(S1)
- [22].材料表面处理用强流电子回旋共振离子源[J]. 强激光与粒子束 2012(12)
- [23].氦等离子体前处理对多晶硅薄膜性能的影响[J]. 深圳大学学报(理工版) 2013(04)
- [24].非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜[J]. 强激光与粒子束 2010(08)
- [25].电子回旋共振放电中电子能量分布特性的研究[J]. 电子科技大学学报 2009(05)
- [26].波传播角对合声波与外辐射带电子回旋共振作用的影响[J]. 中国科学:技术科学 2013(12)
- [27].电子回旋共振-射频双等离子体沉积氧化硅薄膜过程中的射频偏压效应[J]. 物理学报 2010(02)
- [28].电子回旋共振微波等离子体刻蚀α:CH薄膜的工艺[J]. 强激光与粒子束 2008(04)
- [29].低能强流注入器回顾(英文)[J]. 安徽师范大学学报(自然科学版) 2014(03)
- [30].不同磁路结构ECRIT放电室实验研究[J]. 西北工业大学学报 2012(03)
标签:数值积分论文; 有限体积论文; 电子回旋共振等离子体论文; 数值模拟论文;