本文主要研究内容
作者薛辽豫,刘林,张平伟,安晓明,刘青伦（2019）在《行波管金刚石输能窗片金属化影响因素分析》一文中研究指出：为制备行波管用金刚石输能窗片,分析金刚石金属化影响因素。采用粗糙度、拉曼光谱评估金刚石材料性能。采用酸洗、离子束刻蚀清洗金刚石表面。采用冲压掩膜、光刻掩膜防护非金属化区域。通过物理气相沉积制备Ti/Mo/Ni金属化层,并通过真空热处理方法制备TiC过渡层。结果表明:当金刚石内石墨的质量分数低于1%时,离子束刻蚀方法一方面去除金刚石表面杂质,另一方面将表面粗糙度从0. 256μm提升至0. 343μm;相比冲压掩模,光刻掩模降低界面孔隙率,减少了金属离子对掩模底层的污染,过渡区域宽度从200μm减少至10μm; 700℃保温过程促进了TiC的形成,提升了金属化层结合强度,促进了抗热冲击性能。
Abstract
wei zhi bei hang bo guan yong jin gang dan shu neng chuang pian ,fen xi jin gang dan jin shu hua ying xiang yin su 。cai yong cu cao du 、la man guang pu ping gu jin gang dan cai liao xing neng 。cai yong suan xi 、li zi shu ke shi qing xi jin gang dan biao mian 。cai yong chong ya yan mo 、guang ke yan mo fang hu fei jin shu hua ou yu 。tong guo wu li qi xiang chen ji zhi bei Ti/Mo/Nijin shu hua ceng ,bing tong guo zhen kong re chu li fang fa zhi bei TiCguo du ceng 。jie guo biao ming :dang jin gang dan nei dan mo de zhi liang fen shu di yu 1%shi ,li zi shu ke shi fang fa yi fang mian qu chu jin gang dan biao mian za zhi ,ling yi fang mian jiang biao mian cu cao du cong 0. 256μmdi sheng zhi 0. 343μm;xiang bi chong ya yan mo ,guang ke yan mo jiang di jie mian kong xi lv ,jian shao le jin shu li zi dui yan mo de ceng de wu ran ,guo du ou yu kuan du cong 200μmjian shao zhi 10μm; 700℃bao wen guo cheng cu jin le TiCde xing cheng ,di sheng le jin shu hua ceng jie ge jiang du ,cu jin le kang re chong ji xing neng 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自电子元件与材料的薛辽豫,刘林,张平伟,安晓明,刘青伦，发表于刊物电子元件与材料2019年01期论文，是一篇关于金刚石论文,金属化论文,物理气相沉积论文,掩膜论文,热处理论文,碳化钛论文,电子元件与材料2019年01期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自电子元件与材料2019年01期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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