多变量工序能力指数评价模型研究与应用

论文摘要

随着IC工艺设计水平的提高,目前对单个工艺参数进行工序能力评价已不能满足实际工艺生产的要求,必须考虑多个工艺参数共同对产品质量整体的作用。为此目的,多变量工序能力指数的应用被提上日程。本文首先介绍了目前国际上现有的基于工艺规范的多变量工序能力指数定义并对其优缺点作了分析和研究。然后提出了基于成品率的多变量工序能力指数模型,并且根据概率乘法定理,利用以条件数学期望和方差为参数的一维正态分布近似代替原来的条件分布,从而得出计算二维标准正态分布函数值的近似公式。通过数值积分结果比较表明,近似公式计算简单,应用方便,精度较好。从而保证了基于成品率的多变量工序能力指数模型的可行性与精确度。在对二维正态分布的点估计研究基础之上,介绍了针对该分布的优化拟合方法。其中介绍了样本数据的二维正态性检验方法及多维数据经验分布函数的不同定义。最后,对基于主成分权重的多变量工序能力指数模型作了改进,使之能够更为全面的表征工艺工序能力水平。同时提出了基于因子权重的多变量工序能力指数模型。通过实例对比表明,基于工艺成品率的多变量工序能力指数模型更为实用化。

论文目录

• 摘要
• Abstract
• 第一章 绪论
• 1.1 研究背景及选题
• 1.1.1 国内外研究现状
• 1.1.2 研究背景与选题
• 1.2 本论文主要研究工作
• 第二章 工序能力指数
• 2.1 单变量工序能力指数概述
• p'>2.1.1 潜在工序能力指数C_p
• Pk'>2.1.2 实际工序能力指数C_Pk
• 2.1.3 单变量工序能力指数要点总结
• 2.2 工序能力指数与6σ设计
• 2.2.1 传统工业生产对工序能力指数的要求与6σ设计概述
• 2.2.2 6σ设计与传统工序能力分析的区别
• 2.3 基于工艺规范的多变量工序能力指数
• p'>2.3.1 多变量工序能力指数MVC_p
• p^*'>2.3.2 Taam.et.al 提出的MVC_p^*
• pm'>2.3.3 多变量工序能力指数MVC_pm
• 2.4 基于工艺规范的多变量工序能力指数模型实例分析
• 第三章 基于成品率的多变量工序能力指数模型
• 3.1 基于成品率的多变量工序能力指数模型
• 3.1.1 变量相互独立的情况
• 3.1.2 变量不相互独立的情况
• 3.1.3 基于成品率的多变量工序能力指数计算步骤
• 3.2 二维正态性检验
• 3.2.1 边缘正态拟合优度检验
• 3.2.2 二维正态数据的的图形检验
• 3.3 二维正态分布参数的拟合计算
• 3.3.1 相关系数对二维正态分布的影响
• 3.3.2 二维正态分布参数的提取
• 3.3.3 相关系数ρ的拟合计算
• 3.3.4 二维数据经验分布函数的确定
• 3.3.5 经验分布函数计算结果的模拟比较
• 3.4 高精度二维正态分布函数值的计算
• 3.5 基于成品率的多变量工序能力指数模型实例分析
• 第四章 基于权重的多变量工序能力指数模型
• 4.1 基于主成分权重的多变量工序能力指数
• 4.1.1 主成分分析理论简介
• 4.1.2 基于主成分权重的多变量工序能力指数模型
• 4.2 基于因子权重的多变量工序能力指数
• 4.2.1 因子分析理论简介
• 4.2.2 基于因子权重的多变量工序能力指数模型
• 4.3 基于权重的多变量工序能力指数模型实例分析
• 第五章 多变量工序能力指数不同模型的分析与比较
• 5.1 应用实例计算结果比较分析
• 5.2 多变量工序能力指数的应用建议
• 第六章 结束语
• 6.1 本文的主要贡献
• 6.2 后续工作展望
• 致谢
• 参考文献
• 攻读硕士期间研究成果
• 附录A
• 附录B
• 附录C