导读:本文包含了平面微结构论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:表面形貌,大面积测量,快速测量,螺旋扫描
平面微结构论文文献综述
崔玉国,刘康,惠相君,马剑强,周鹏飞[1]（2018）在《平面式大型微结构表面的螺旋扫描测量》一文中研究指出为实现平面式大型微结构表面的快速测量,提出了一种螺旋式扫描测量方法。基于该方法的测量系统由x、y、z向直线运动平台、绕z轴旋转的直接驱动(DD)马达以及激光位移传感器组成,当移动x、y向平台使激光位移传感器的激光束与DD马达的旋转中心重合,并通过z向平台使激光位移传感器位于其测量范围内时,使x向平台与DD马达同步运动而形成螺旋线来获得被测表面形貌的平面位置信息,同时由激光位移传感器获得被测表面的高度信息,据此实现对被测表面形貌的测量;这种螺旋式扫描方法避免了栅格式扫描方法所存在的频繁加减速及反向运动间隙不足的问题,可提高系统的测量速度和精度。基于所搭建的测量系统,对表面形貌为凸凹扇形的圆形试件的表面进行了测量,结果表明:所提出的螺旋式扫描方法能够实现表面叁维形貌的快速测量,测量试件表面上直径为Φ20 mm的区域时,所用时间仅为800 s,测量结果能较好地反映被测试件表面形貌的叁维形貌。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2018年09期）
董敏,路家斌,潘继生,阎秋生[2]（2018）在《磁流变微结构动压平面抛光试验研究》一文中研究指出为提高集群磁流变平面抛光效率,在抛光盘表面增加微结构,以增强加工过程中的流体动压作用。使用平面抛光盘和表面加工有孔洞、V形槽、U形槽、矩形槽等不同微结构的抛光盘进行抛光试验及抛光压力特性试验,研究了加工间隙和工件转速对加工效果的影响。结果表明:抛光盘表面微结构对工件材料去除率影响较大,不同微结构盘材料去除率从大到小顺序为V形盘>U形盘>平面盘>孔洞盘>矩形盘,其中V形盘的材料去除率比平面盘高25%以上;所有抛光盘均能获得纳米级(R_a在8nm以内)表面。当加工间隙为0.9~1.0mm、工件转速为550r/min时,加工效果较好。(本文来源于《金刚石与磨料磨具工程》期刊2018年01期）
梁健[3]（2015）在《基于人工光子微结构调控的HgCdTe中长波焦平面红外探测器的研究》一文中研究指出本文对新型人工光子微结构Hg Cd Te中长波焦平面红外探测器进行了数值模拟和理论分析。通过揭示人工微结构的设计对器件性能的影响,明确了光场操控对提高Hg Cd Te器件性能的重大意义,为改进或优化Hg Cd Te红外探测器件的制备工艺过程提供了可靠的判断依据,为Hg Cd Te红外探测器件工程化应用提供了基础指导。通过引入人工光子微结构,可以在维持原有探测率不变的前提下显着降低暗电流带来的探测噪声,从而提高器件性能。研究结果将为提高第叁代Hg Cd Te焦平面红外探测器性能提供理论和技术支持。首先,成功地在二维及叁维模拟中将时域有限差分方法(FDTD)计算所得的光场耦合入有限元(FEM)数值计算半导体器件模拟中。利用关联后的时域有限差分和有限元数值器件模拟方法,结合金属色散模型、电导率吸收模型、扩散漂移模型、泊松方程、电流连续性方程等,对不同尺寸的台柱结构器件进行了二维“光学”和“电学”模拟、对不同尺寸的金属栅-介质-金属结构器件进行了叁维“光学”和“电学”模拟,计算得到了器件的吸收谱、光响应谱、暗电流及电场分布特性。通过分析暗电流和量子效率变化,获得了最大程度减小暗电流的同时维持较高量子效率的设计方案。其次,设计了亚波长陷光结构光伏型Hg Cd Te红外焦平面探测器和表面等离子体激元增强光导型Hg Cd Te红外探测器。建立了Hg Cd Te红外探测器的关键光学和电学设计参数数据库,如迁移率、少子寿命、扩散长度、带隙、介电常数、电导率、吸收系数等。完善了色散模型、扩散漂移模型、电导率模型。构建了几种典型的器件结构,如台柱、孔洞或金属栅-介质-金属。对于周期性台柱结构的光伏器件,研究发现在低填充比条件下这种台柱结构具有很强的陷光效果,实现了原响应率不变时通过减小体积来减小暗电流的目标。相比于传统的台面或平面n-on-p/p-on-n结构,这种陷光台柱结构不仅提高了器件的性能而且可以与大规模焦平面阵列兼容,表明此亚波长陷光结构红外探测器具有良好的应用前景。对于金属栅-介质-金属的光导器件,金属表面等离子体激元对于光场的局域调制效应,可以提高光场的强度以及提高光与介质的相互作用时间,从而提高探测器的灵敏度和响应率。最后,参考理论得到的器件尺寸参数,利用电子束光刻方法初步实验研究了基于引入表面亚波长金属光栅增强光吸收的超薄型光导型Hg Cd Te探测器。(本文来源于《中国科学院研究生院(上海技术物理研究所)》期刊2015-04-01）
孔维,孔祥玉,韩莉[4]（2013）在《大鼠脊髓半损伤后损伤平面以下前角运动神经元区超微结构的观察》一文中研究指出观察大鼠脊髓半损伤不同时间段内前角运动神经元和髓鞘超微结构变化,为脊髓损伤后形态学改变提供依据。雄性Wistar大鼠45只,随机分为正常对照组和脊髓半损伤手术8 h、1 d、3 d、7 d、14 d、21 d、28 d、60 d组,每组5只。手术组用改良Allen装置造成T12右半侧损伤。用4%多聚甲醛、2%戊二醛混合液灌流固定,取损伤处2mm以下脊髓。常规电镜样品制备,电镜观察。结果显示,正常对照(本文来源于《中国解剖学会2013年年会论文文摘汇编》期刊2013-08-02）
唐小明,吕光烈,张国庆[5]（2012）在《Ufer乱层无序(turbostratic disorder)平面位错微结构模型及应用》一文中研究指出层状结构化合物,如粒土矿物、石墨等的基本结构层(layer)的堆迭(stack)呈乱层无序,导致此类化合物的粉末衍射峰极不对称的宽化。这种宽化效应阻碍了用全谱拟合方法获取结构信息与相丰度。层状化合物的乱层无序是堆迭的基本平面层沿与平面层垂直方向随机地旋转或平移(Waren,1941)。(本文来源于《第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心（ICDD）研讨会论文摘要集》期刊2012-07-28）
谢勇君[6]（2010）在《机器微视觉在MEMS微结构平面运动测量中的应用》一文中研究指出测量MEMS微结构的运动特性对于MEMS器件的设计与优化具有重要指导意义。利用机器微视觉技术构建了平面运动测试系统,可采集MEMS微结构运动周期内不同相位的一系列视觉图像。提出了一种改进的快速亚像素模板匹配方法,该方法首先通过SUSAN滤波算法对各图像进行降噪处理,再通过SSDA算法和标准化协方差相关法快速得到像素级匹配点,最后利用相关函数曲面拟合法得到亚像素级精度的匹配点。通过该方法对MEMS微结构运动周期内的各视觉图像进行处理,可快速得到MEMS微结构的平面运动位移和轨迹。通过实验对微谐振器阵列的平面运动进行了有效测试,其中对运动幅度的重复测量精度为20nm。(本文来源于《Proceedings of 2010 International Conference on Future Information Technology and Management Engineering (FITME 2010) Volume 3》期刊2010-10-09）
陈志峰[7]（2010）在《大口径平面微结构光子筛设计与成像特性研究》一文中研究指出光子筛成像是近几年发展起来的一种新型成像器件和概念。具有体积小,重量轻,光谱范围可覆盖到软X射线、极紫外等传统折射或反射难以实现的区域。是近几年来的研究热点之一。本论文主要研究了光子筛成像的基本原理,计算和设计方法(包括严格解析解和专业软件方法);光子筛参数的公差分析;提出了分区光子筛的设计方法,以及光子筛的制作技术并进行了实验成像验证,为大口径、高数值孔径光子筛的设计、制作打下了坚实基础和提出了方向。具体内容包括(1)光子筛成像机理研究,建立一个适合高数值孔径和任意波段的非近轴光子筛衍射的一般模型,建立光子筛焦平面上光场分布表达式,形成光子筛设计的主要理论基础。(2)光子筛成像特性与优化设计方法,重点研究了微孔在不同排列形式下对焦平面上光束聚焦特性的影响,得出了不同的微孔排列本质上等同于不同的微孔密度调制,为进一步优化光子筛成像特性提供了新的方向。(3)运用蒙特卡洛方法对光子筛结构参数的制作公差进行了分析,首次得出了微孔孔径和微孔沿径向分布位置的具体公差,为研制光子筛制作设备和像质分析提供了依据。(4)首次提出利用分区设计方法进行大口径光子筛思想和分区光子筛的设计原则,分别设计了口径为50mm,125mm,420mm焦距500mm的叁分区和四分区光子筛,提供了解决大口径光子筛设计和制造难题的方案。(5)提出并利用专业软件ZEMAX进行光子筛计算和设计的思想,证明了利用ZEMAX进行光子筛设计可行性。利用ZEMAX对无解析解的椭圆孔光子筛和倾斜入射进行了计算。(6)首次实验制作了口径125mm的叁分区以及四分区大口径光子筛器件,并进行了成像实验,成像测试结果与理论预计相吻合。(本文来源于《苏州大学》期刊2010-05-01）
胡晓东,田淑英,陈治,胡小唐[8]（2008）在《数字散斑相关技术在微结构平面运动测试中的应用》一文中研究指出微结构是微器件或微系统的基本组成部分,对其运动特性的测试有助于对器件或系统的性能和稳定性进行评价.为此,针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,对数字散斑相关技术应用于微结构平面运动特性测试的实现方法进行了探讨,采用梯度法实现全局刚性位移的精确测量,并作为牛顿迭代法的初值进行区域变形量的提取,具有较高的计算效率.SiCRF微谐振器平面运动特性测试实验表明,微结构平面刚性位移测量的分辨率和偏差分别能够达到1/100像素和1/20像素,区域变形信息提取的有效性也得到了初步验证.(本文来源于《纳米技术与精密工程》期刊2008年06期）
段弢[9]（2008）在《有限光束在平面微结构中的共振传输》一文中研究指出有限光束在光密与光疏介质分界面发生全反射时,反射光束会在入射面内,相对于几何反射光束产生一段侧向的Goos-H(?)nchen(GH)位移。然而在普通的两层介质界面上,该位移很小,通常只有波长量极。本论文围绕着有限光束在平面微结构中传输的边界效应,及光与物质相互作用,产生的非几何光学现象——共振增强的GH位移及其潜在应用,开展了一系列研究工作。具体研究内容及结果如下:有限光束在半无限、各向同性的普通透明介质平面分界面,以及不同光学性质的介质平面分界面上,如:从普通各向同性透明介质,入射到各向同性的弱吸收介质或者弱增益介质、金属介质传输过程中的非几何效应的GH位移。研究了有限光束在微介质板中的共振传输。首先,讨论了给棱镜斜面镀折射率相对较小的平面微介质板结构中共振增强的GH位移。由于微波波长比较长,实验中相对容易测量控制,因而,选用了3cm的高斯型微波源,测量这种结构中的GH位移随介质板厚度变化的关系,与理论结果相吻合。接着,又讨论了当棱镜不存在时,厚度与波长可比拟的空间放置的光密平面介质板结构中的透射光束的GH位移,这时的位移可正可负,着重讨论了出现负位移时应满足的条件。最后,讨论了具有不同光学性质的介质板(各向同性的弱吸收介质板、弱增益介质板、金属介质板)中有限光束传输特性。有限光束在双棱镜结构中传输时,当入射角小于棱镜与介质板间的临界角,反射和透射光束的GH位移均被共振增大。在非对称的双棱镜结构中,两种不同本征线偏振(TE、TM偏振)有限光束,在共振点上的GH位移增强,且方向相反。而对称双棱镜结构中,反射位移与透射位移均被共振放大,而且相等。接着讨论了,给双棱镜相对的内表面镀一层折射率较小微介质板,或双棱镜内表面分别镀对称的微介质板形成的多平面界面微结构中,反射和透射位移的非几何光学传输特性。反射光束、透射光束的位置可以由入射角、介质板厚度及各介质的折射率控制,这些新奇现象将为新型光学器件提供新思路。最后,利用了3cm微波系统透射光束的GH位移,随对称棱镜间的介质板厚度而变化的理论预言进行了实验验证,与理论结果相吻合。通过对有限光束在平面介质板共振结构中,GH位移产生的机制及GH位移有效性的研究。事实证明,位移不是光束形变的结果,而是由于各平面波组分在介质板中多次反射后的波束重构。还进一步讨论了,为保证位移有意义应满足的条件及其传输的机制。当介质板的厚度远大于限制厚度,且介质板是具有增益特性的介质时,在介质中传输的光束振幅不断地被放大,如果选择合适的增益介质板厚度、入射角、以及介质板的增益系数,就可在介质板上、下表面分别得到一组等振幅、等间隔的光束,称为空间光梳。(本文来源于《中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）》期刊2008-04-01）
金翠云,靳世久,栗大超,胡晓东,王建林[10]（2007）在《光流技术在微结构平面微运动测量中的应*用》一文中研究指出在经典的Horn-Schunck光流算法的基础上,根据微机电系统(MEMS)微结构的运动特性,引入标号场,提出基于标号场和邻域优化法相结合的光流算法对微结构的运动序列图像做运动估计。利用光学测量方法,开发了测试系统,能使微结构的运动可视化。系统包括:利用光学显微镜来实现微结构的放大,并将图像投影到CCD摄像机上;基于频闪成像原理来冻结微结构的高速运动状态,获取一系列动态图像序列;基于提出的标号场和邻域优化法相结合的光流算法对微结构的运动序列图像做运动估计,获取其重要动态特性参数。该方法具有非接触、高测量精度的特点。实验结果表明,该方法的测量重复性达40 nm。(本文来源于《光电子.激光》期刊2007年11期）
平面微结构论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为提高集群磁流变平面抛光效率,在抛光盘表面增加微结构,以增强加工过程中的流体动压作用。使用平面抛光盘和表面加工有孔洞、V形槽、U形槽、矩形槽等不同微结构的抛光盘进行抛光试验及抛光压力特性试验,研究了加工间隙和工件转速对加工效果的影响。结果表明:抛光盘表面微结构对工件材料去除率影响较大,不同微结构盘材料去除率从大到小顺序为V形盘>U形盘>平面盘>孔洞盘>矩形盘,其中V形盘的材料去除率比平面盘高25%以上;所有抛光盘均能获得纳米级(R_a在8nm以内)表面。当加工间隙为0.9~1.0mm、工件转速为550r/min时,加工效果较好。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
平面微结构论文参考文献
[1].崔玉国,刘康,惠相君,马剑强,周鹏飞.平面式大型微结构表面的螺旋扫描测量[J].仪器仪表学报.2018
[2].董敏,路家斌,潘继生,阎秋生.磁流变微结构动压平面抛光试验研究[J].金刚石与磨料磨具工程.2018
[3].梁健.基于人工光子微结构调控的HgCdTe中长波焦平面红外探测器的研究[D].中国科学院研究生院(上海技术物理研究所).2015
[4].孔维,孔祥玉,韩莉.大鼠脊髓半损伤后损伤平面以下前角运动神经元区超微结构的观察[C].中国解剖学会2013年年会论文文摘汇编.2013
[5].唐小明,吕光烈,张国庆.Ufer乱层无序(turbostraticdisorder)平面位错微结构模型及应用[C].第十一届全国X射线衍射学术大会暨国际衍射数据中心（ICDD）研讨会论文摘要集.2012
[6].谢勇君.机器微视觉在MEMS微结构平面运动测量中的应用[C].Proceedingsof2010InternationalConferenceonFutureInformationTechnologyandManagementEngineering(FITME2010)Volume3.2010
[7].陈志峰.大口径平面微结构光子筛设计与成像特性研究[D].苏州大学.2010
[8].胡晓东,田淑英,陈治,胡小唐.数字散斑相关技术在微结构平面运动测试中的应用[J].纳米技术与精密工程.2008
[9].段弢.有限光束在平面微结构中的共振传输[D].中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）.2008
[10].金翠云,靳世久,栗大超,胡晓东,王建林.光流技术在微结构平面微运动测量中的应*用[J].光电子.激光.2007