论文摘要
随着红外光通信技术的发展,光学薄膜在提升光学器件性能方面扮演着越来越重的作用。本文主要研制以蓝宝石为基底,实现在1.064μm和3-5μm透射、1.2-2.8μm反射的红外滤光膜。同时对薄膜材料的光学性能进行研究和分析,根据薄膜设计理论,借助TFC膜系软件进行膜系设计。通过对初始膜系膜层厚度的优化,获得了较为理想的膜系结构设计方案。本课题采用电子束真空蒸发和离子辅助沉积技术制备薄膜。对在镀膜过程中影响膜层性能的工艺因素进行了分析、研究。通过反复试验,优化工艺参数,在蓝宝石基底上成功镀制了符合红外光学探测器使用要求的多波段滤光膜,并且能够承受激光光源的照射和恶劣环境的测试。
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