论文摘要
光波导无源环形谐振器是微型光波导陀螺的核心敏感部件，其性能直接影响陀螺的极限分辨率和各项误差，是此种陀螺的设计关键。本文提出了一种新型硅基二氧化硅光波导无源环形谐振器结构，进行了理论分析并对其结构进行了设计。相比以往工艺，GeO2硅光波导能够提供更低的传输损耗，主要研究了在硅基底上，利用火焰水解法制作GeO2参杂硅波导。结合光学设计软件，完成了对波导材料、定向耦合器、弯曲波导部分和无源环形谐振器的模拟和设计。从理论分析了无源环形谐振器的重要参数—清晰度，并提出了提高清晰度的可行方案。由于在谐振条件下清晰度和光的传输主要取决于环形谐振器的全部损耗，所以详细分析了系统的全部损耗来源。最后结合现有先进的光学工艺，提出了加工与制造方案。
论文目录
相关论文文献
- [1].机载光波导平视显示技术发展[J]. 电光与控制 2020(05)
- [2].基于光学自准直法的光波导阵列平行度测试[J]. 光学精密工程 2020(07)
- [3].《电磁场理论与光波导技术》教学中数值分析工具的应用研究[J]. 科技视界 2020(27)
- [4].硫系掺铒光波导在光通信的研究进展[J]. 激光与光电子学进展 2015(03)
- [5].环氧树脂多模光波导的研制[J]. 光电子·激光 2015(08)
- [6].光波导平整度优化工艺[J]. 电子工艺技术 2018(06)
- [7].有机聚合物光波导的研究进展[J]. 激光与光电子学进展 2017(05)
- [8].基于加载条形光波导结构的聚合物热光开关[J]. 吉林大学学报(信息科学版) 2017(05)
- [9].硅基集成光波导放大器的最新研究进展[J]. 中国科学:物理学 力学 天文学 2017(12)
- [10].基于复合光波导的生化传感器应用研究进展[J]. 材料导报 2017(21)
- [11].典型工艺缺陷对光波导特性的影响研究[J]. 光电技术应用 2015(06)
- [12].玻璃基片上双层多模光波导的制备[J]. 红外与激光工程 2015(10)
- [13].交叉多模光波导传输特性分析[J]. 半导体光电 2013(06)
- [14].硅基光波导材料的研究[J]. 激光与红外 2010(08)
- [15].非线性光波导特性及其应用[J]. 科技创新导报 2010(32)
- [16].光波导材料与制备[J]. 中国光学与应用光学文摘 2008(02)
- [17].高灵敏复合光波导传感器及其研究进展[J]. 化学传感器 2008(02)
- [18].锥形光波导耦合特性研究[J]. 半导体光电 2018(02)
- [19].聚合物光波导45°反射面形成工艺研究[J]. 电子工艺技术 2018(05)
- [20].低损耗聚合物互连光波导的制备及性能测试[J]. 光电子.激光 2013(04)
- [21].基于光波导分光光谱技术研究蛋白质与亚甲基蓝的竞争吸附行为[J]. 物理化学学报 2010(10)
- [22].基于光波导光模光谱的固液界面受体配体反应动力学研究[J]. 光谱学与光谱分析 2010(10)
- [23].光波导分光光谱技术研究染料分子在玻璃表面的吸附特性[J]. 物理化学学报 2009(12)
- [24].光波导材料与制备[J]. 中国光学与应用光学文摘 2008(03)
- [25].有机-无机复合材料光波导的制备[J]. 功能材料 2008(06)
- [26].铒镱共掺光波导放大器的优化[J]. 红外 2008(10)
- [27].四苯基卟啉薄膜/K~+-交换玻璃光波导传感器的研制及其气敏性研究[J]. 传感技术学报 2016(07)
- [28].有机聚合物光波导制作工艺综述[J]. 激光与红外 2015(06)
- [29].产生于双金字塔光波导网络的巨大光子带隙和强光子衰减[J]. 激光与光电子学进展 2015(07)
- [30].硅基光波导中啁啾高斯脉冲在反常色散区的传输特性[J]. 原子与分子物理学报 2021(01)