本文主要研究内容
作者钟利,陈美艳,沈丽如（2019）在《预溅射时长对TiN镀层成膜情况的影响研究》一文中研究指出：为了研究预处理阶段工艺参数对镀层性能的影响,采用阴极弧离子镀方法在钛合金上制备TiN镀层。用金属离子轰击预溅射基底,对基底的活性和温度进行不同程度的改变。本实验保持温度、真空度、抽气速率及其他电参数固定不变,仅以轰击预溅射的时长为唯一变量,分别轰击3、6、9、12、15和18 min,从而完成对镀层成膜情况的对比研究。利用扫描电子显微镜来观察镀层断面结构,利用维氏硬度计测量显微硬度,采用划痕法来判定镀层与基底的结合强度,通过摩擦磨损实验来测试薄膜的耐磨性。测试结果表明,随着轰击时间的延长,基片活性增加,有利于形核和薄膜生长,沉积速率、膜基结合强度和耐磨性均呈规律性增加。当轰击时间为15 min时,膜基之间粘附性达到最佳,膜基结合力大于65 N,耐磨性能较好,成膜情况最优。过度延长轰击时间后,基片沉积温度过高,内应力增大,结合强度和耐磨性能反而下降。实验证明,通过调整轰击时间可以改善镀层性能,最终达到沉积速率、硬度、结合强度和耐磨性能的优化配置。
Abstract
wei le yan jiu yu chu li jie duan gong yi can shu dui du ceng xing neng de ying xiang ,cai yong yin ji hu li zi du fang fa zai tai ge jin shang zhi bei TiNdu ceng 。yong jin shu li zi hong ji yu jian she ji de ,dui ji de de huo xing he wen du jin hang bu tong cheng du de gai bian 。ben shi yan bao chi wen du 、zhen kong du 、chou qi su lv ji ji ta dian can shu gu ding bu bian ,jin yi hong ji yu jian she de shi chang wei wei yi bian liang ,fen bie hong ji 3、6、9、12、15he 18 min,cong er wan cheng dui du ceng cheng mo qing kuang de dui bi yan jiu 。li yong sao miao dian zi xian wei jing lai guan cha du ceng duan mian jie gou ,li yong wei shi ying du ji ce liang xian wei ying du ,cai yong hua hen fa lai pan ding du ceng yu ji de de jie ge jiang du ,tong guo ma ca mo sun shi yan lai ce shi bao mo de nai mo xing 。ce shi jie guo biao ming ,sui zhao hong ji shi jian de yan chang ,ji pian huo xing zeng jia ,you li yu xing he he bao mo sheng chang ,chen ji su lv 、mo ji jie ge jiang du he nai mo xing jun cheng gui lv xing zeng jia 。dang hong ji shi jian wei 15 minshi ,mo ji zhi jian nian fu xing da dao zui jia ,mo ji jie ge li da yu 65 N,nai mo xing neng jiao hao ,cheng mo qing kuang zui you 。guo du yan chang hong ji shi jian hou ,ji pian chen ji wen du guo gao ,nei ying li zeng da ,jie ge jiang du he nai mo xing neng fan er xia jiang 。shi yan zheng ming ,tong guo diao zheng hong ji shi jian ke yi gai shan du ceng xing neng ,zui zhong da dao chen ji su lv 、ying du 、jie ge jiang du he nai mo xing neng de you hua pei zhi 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自真空科学与技术学报的钟利,陈美艳,沈丽如，发表于刊物真空科学与技术学报2019年07期论文，是一篇关于阴极弧离子镀论文,轰击时间论文,结合强度论文,钛合金论文,真空科学与技术学报2019年07期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空科学与技术学报2019年07期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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