论文摘要
本论文利用化学气相沉积法,合成了多种形貌的半导体氮化铟(InN)纳米结构,并通过进一步加热氧化后得到了氧化铟(In2O3)纳米结构,对所得产物的结构、形貌及物性进行了表征。本文的主要研究内容包括:1.以氧化铟(In2O3)粉末为铟源,氨气(NH3)作氮源,合成出了不同形貌的InN纳米结构。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微术(SEM)、X射线能量色散谱(EDS)、透射电子显微术(TEM)、光致发光谱(PL)等对产物进行了表征。结果表明得到的产物为纤锌矿结构InN,有纳米线、纳米带、纳米管、纳米颗粒等形貌。对产物的发光性质进行了研究。2.将不同形貌的InN纳米结构进行氧化,得到了In2O3纳米颗粒、纳米线、纳米带、纳米管等纳米结构。气敏性质测试显示,与原料氧化铟粉末相比较,这些In2O3纳米结构的气敏性能都得到了不同程度的提升,以In2O3纳米颗粒气敏性能最好。微结构分析表明,转化所得到的In2O3颗粒尺寸变小,比表面积增加,使气敏性能得到提升。对In2O3纳米结构及原料In2O3粉末作了电化学性质分析,发现经过转化后的In2O3纳米颗粒、纳米线、纳米带等首次放电容量明显提升,这与比表面积增加有关。论文还研究了不同形貌的In2O3纳米结构及原料氧化铟的光致发光性质,分析表明,导致In2O3发光的因素包括带边发射、深能级发射、氧缺陷以及杂质的存在。
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