激光调阻机多功能控制器的研究

论文摘要

激光技术是二十世纪与原子能、半导体、计算机齐名的四大发明之一，自上世界八十年代起，激光技术广泛应用于加工领域。在电子工业中，激光微细加工技术成为打破半导体技术“瓶颈”的关键技术。激光调阻机用来高效地生产膜电阻以及集成电路中的印刷电阻，是激光加工设备在电子工业中的一种应用。多功能控制器是激光调阻机功能实现的关键部分之一，主要负责电阻调阻过程中的实时检测与控制，在测量过程中，要求检测精度高、速度快。多功能控制器由温度监控系统、激励源(高精度稳恒直流源、连续可调电压源)、AD采集板和探针板组成。本文围绕激光调阻机的多功能控制器进行了以下几方面的研究和设计工作。本文首先分忻了激光调阻机的结构和原理，通过查阅了大量的国内外资料和文献，分忻了国内外激光调阻机的现状以及该课题提出的意义。根据激光调阻机的要求，本文对多功能控制器的主要功能进行了分忻，并在此基础上提出了该项目的总体规划以及技术方案。针对热敏电阻调阻需要，以红外测温为基础研究并设计了非接触温度监控装置。为进行电阻调阻和功能调阻，分别设计了高精度稳恒直流源和连续可调电压源。根据激光调阻机工作要求，选择了采集板卡以及外围电路，设计了探针板，并为多功能控制器选择供电电源。根据激光调阻多功能控制器与上位机(工业计算机IPc)的通信要求，设计并完成了串行通信程序的编写。最后，在论文结尾部分对多功能控制器进行了总结。

论文目录

• 摘要
• Abstract
• 1 绪论
• 1.1引言
• 1.2激光调阻机概述
• 1.3国内外激光调阻机发展现状及分析
• 1.4课题的提出以及技术方案
• 2 控制器的总体功能规划
• 2.1激光调阻类型
• 2.2控制器的整体规划
• 2.3主要功能与技术指标
• 3 温度监控系统的设计
• 3.1红外测温技术
• 3.2热电偶测温技术
• 3.3 IC温度传感器AD590、 的工作原理及特点
• 3.4温度监控系统的设计
• 4 激励源的设计
• 4.1高精度稳恒直流源的设计
• 4.2连续可调电压源的设计
• 5 采集系统以及电源系统的选择与设计
• 5.1数据采集板卡的选择
• 5.2探针板及检测探针控制电路的设计
• 5.3电源系统的选择与设计
• 6 单片机控制电路及其软件设计
• 6.1单选择
• 6.2单片机相关电路的设计
• 6.3单片机软件设计
• 6.4通信协议
• 7 控制器的调试与抗干扰
• 7.1控制器的硬件调试
• 7.2控制器的软件调试
• 7.3控制器硬件的抗干扰措施
• 7.4软件的抗干扰措施
• 8结论
• 致谢
• 参考文献