导读:本文包含了掺铝氧化锌薄膜论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:激光防护技术,光限幅材料,非线性光学,富勒烯
掺铝氧化锌薄膜论文文献综述
左宇杰[1]（2019）在《富勒烯溶液和掺铝氧化锌薄膜的光限幅效应研究》一文中研究指出随着高功率激光器的迅速发展,各国越来越重视激光防护技术的研究,探索经济实用的激光防护材料。当前,基于非线性光学原理的激光防护技术及光限幅材料,在可见光波段的研究已经比较成熟,但是在近红外波段实现激光防护的光限幅材料研究较少。研究表明,富勒烯(C_(60)和C_(70))和掺铝氧化锌(Aluminum-doped zinc oxide,AZO)在可见光波长具有较强的非线性光学效应,但在近红外光波段的非线性光学效应尚待研究。本文针对波长1064nm高功率脉冲激光的防护技术,研究富勒烯溶液和AZO薄膜的光限幅效应。以不同浓度(0.25和1mmol/L)和厚度(5和10mm)的富勒烯溶液(C_(60)甲苯、C_(60)二甲苯、C_(70)甲苯和C_(70)二甲苯)为样品,测量了不同入射光强下的透射率,分析了浓度、厚度、溶质、溶剂对富勒烯溶液光限幅效应的影响。以AZO薄膜为样品,在不同脉冲宽度(26、62和101ns)和能量密度(5.3、10.6和15.9J/cm~2)的激光下,分别开展了开孔和闭孔Z扫描测量实验,计算了非线性吸收系数和非线性折射率系数,分析了脉冲宽度和能量密度对非线性光学效应的影响,与其他几种具有非线性光学效应的薄膜对比。研究结果表明,在1064nm的纳秒脉冲激光下,当入射光功率密度低于20MW/cm~2时,富勒烯溶液样品的透射率稳定在0.8以上。当入射光功率密度高于20MW/cm~2时,富勒烯溶液溶质与溶剂一定,浓度越高、厚度越大,透射率总体上更低,光限幅效应越强;富勒烯溶液浓度与厚度一定,C_(70)的透射率总体上低于C_(60)的透射率,光限幅效应更强;甲苯和二甲苯溶剂样品的透射率差别不大,溶剂对光限幅效应几乎没有影响。AZO薄膜的非线性吸收系数平均值为3.68×10~(-9)m/W,非线性吸收效应主要表现为反饱和吸收;非线性折射率系数平均值为-6.34×10~(-13)m~2/W,非线性折射效应主要表现为自散焦。入射激光的脉冲宽度和能量密度对AZO薄膜的非线性吸收系数和非线性折射率系数几乎没有影响。与其他几种具有非线性光学效应的薄膜相比,AZO的非线性光学系数的数量级更大,有望成为光限幅材料。(本文来源于《南京航空航天大学》期刊2019-04-01）
杨盼,赵晓冲,杨丽军,顾友辰,林红[2]（2018）在《氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响》一文中研究指出采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层。研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响。结果表明,最优Ar气流量为22 cm~3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400~1100 nm波长下的光透过率为87.2%。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2018年S1期）
刘家骁,代清平,邓朝勇[3]（2018）在《掺铝氧化锌薄膜的制备与表征及其与铁电薄膜复合的性能研究》一文中研究指出采用激光脉冲沉积方法在SiO_2衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,X射线衍射分析(XRD)薄膜呈现六角形结构的c轴取向,掺杂后的氧化锌电阻率有明显的下降,并且在可见光区域有很高的透过率,通过椭偏仪测量并拟合了薄膜其它光学性质。用Tauc-Lorentz色散模型表征了不同掺杂浓度的薄膜的折射率和消光系数,随着掺杂浓度升高透射光谱的吸收边向短波长移动,这与所拟合得到的带隙展宽相符。通过采用溶胶凝胶法(Sol-gel)制备了(Pb_(0.9)La_(0.1))(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PLZT)薄膜,并且制备了在PLZT薄膜沉积AZO形成AZO/PLZT的复合薄膜,通过电子显微镜观测了复合薄膜的表面形貌和截面结构,当电场强度为300 k V/cm时,测试复合薄膜铁电性时得到清晰的电滞回线,这为铁电薄膜晶体管的制备提供了可行性。(本文来源于《贵州大学学报(自然科学版)》期刊2018年01期）
张增光,汤洋[4]（2017）在《不同温度对原子层沉积掺铝氧化锌薄膜性能的影响》一文中研究指出采用热原子层沉积(ALD)方法,在固定氧化锌与氧化铝沉积比例的情况下,研究了不同温度下在玻璃衬底上沉积的掺铝氧化锌薄膜性能的变化,特别是"ALD窗口"温度的影响。通过计算薄膜沉积速率,得到了薄膜沉积的"ALD窗口"温度范围为225~275℃,相应的沉积速率为0.214 nm/cycle。分析样品的表面形貌后发现,虽然反应的温度有所不同,但薄膜的微观结构均为密集堆积的纺缍体,它们的尺寸受到温度、晶体结构等因素的影响。结构分析表明,在"ALD窗口"温度范围内,所有沉积得到的样品均为(100)择优取向,并且结晶质量、晶粒尺寸以及(002)峰的相对强度均随着温度升高而增大。薄膜的光学透过率以及光学带隙没有随温度变化而表现出明显的变化,分别在80%(350~770 nm)和3.90 e V左右。薄膜的电导率和光学质量在"ALD窗口"内随温度增加而增长,直到300℃时达到最佳。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2017年12期）
杨盼,赵晓冲,杨丽军,顾友辰,林红[5]（2016）在《氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响》一文中研究指出采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层,研究了在溅射功率60W、溅射时间30min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响。结果表明:最优Ar气流量为22sccm,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电导率小,薄膜在400nm~1100nm波长下的光透过率为87.2%。(本文来源于《第十九届全国高技术陶瓷学术年会摘要集》期刊2016-10-11）
翟旺建,周兆彪[6]（2014）在《室温溅射掺铝氧化锌薄膜的微结构及其光学性能》一文中研究指出以硝酸铝晶体和氧化锌粉末为原料,Al和Zn摩尔比为3:100,制备了相对密度为96%、电阻率为2.5×10-2Ω·cm的掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶材.采用直流磁控溅射法,室温条件下,在玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的微结构.薄膜晶粒尺寸大,分布均匀,可见光透过率为89.92%,光学带隙Eg为2.18 e V,Urbach能量Eu为3.9e V,折射率n随波长的增大,先减小后增大,最后趋于稳定.(本文来源于《玉林师范学院学报》期刊2014年05期）
范丽琴[7]（2014）在《衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响》一文中研究指出利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜,研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响.当给衬底加热时,X射线衍射观测(002)峰相对强度明显增强.在衬底温度250℃下制备的薄膜的晶粒尺寸最大,为24.9nm,表面粗糙度最小,为8.1nm,表明在衬底温度250℃下制备的薄膜的结晶效果最好.衬底温度从30℃升高到250℃,薄膜的电阻率相应地从14.35×10-4Ω·cm降低到7.18×10-4Ω·cm,随着衬底温度的升高,电阻率反而增大.所有样品在可见光区的平均光学透射率都大于85%.引入品质因子分析薄膜的光电性能,当衬底温度为250℃时,品质因子最大为16.15×10-3Ω-1,其光电性能最好.(本文来源于《物理实验》期刊2014年06期）
崔硕[8]（2014）在《掺铝氧化锌薄膜的制备及其光电性能研究》一文中研究指出氧化锌近年来备受关注,它是被发现的新一代的紫外激发发射以及发射激光器件。随着半导体器件在世界上的不断发展,两个至关重要的问题也相应出现,就是P型掺杂问题和带隙工程问题。Zn0激活层是双重异质结的光激发材料,与其有关的P型掺杂及p-n结器件最近这些年的研究已经有了很大进步。近期研究的重点是p-Zn0导电、Zn0基的p-n结合衬底。制备铝掺杂氧化锌的方法大致为：磁控溅射法、分子束外延法、化学气相沉积法(CVD)、有机金属化学气相沉积法(MOCVD)、溶胶-凝胶法以及喷雾热解法等,超声喷雾热解法设备相对比较简单,前驱体溶液制备更加方便,参数比较易于调节,具备容易实现大面积镀膜和方便进行大规模工业化生产等优点。醋酸锌水溶液作为本次实验的前驱体溶液,并以硝酸铝为Al源,利用超声喷雾热解法系统在石英衬底和硅片衬底上制备了纯Zn0薄膜和铝掺杂氧化锌薄膜。采用XRD(x射线衍射仪)、SEM(扫描电子显微镜)、PL(光致发光光谱)、紫外-可见光光谱仪和霍耳测试仪等测试方法,对氧化锌薄膜与铝掺杂氧化锌的结构和光电性能进行了测试,并根据测试结果对于在各种生长条件下,比如改变衬底温度、前驱物溶液浓度、沉积时间和退火条件等实验参数对Zn0薄膜结构和性能的影响进行了研究。实验结果显示超声喷雾热解法制备的铝掺杂氧化锌薄膜具有较好的光电性能。由PL谱可知以硅片为衬底的薄膜具有很强的近带紫外发光峰。XRD测得数据显示以石英为衬底的薄膜有着明显的C轴择优取向。在不同温度与不同浓度条件下制备的掺铝氧化锌薄膜,体现出最佳温度是470度,nZn：nA,=1：0.04时为最佳浓度。通过霍尔测试结果得出,nZn:nAl=1:0.04时和衬底温度为480度时样品呈现p型导电性。(本文来源于《辽宁师范大学》期刊2014-03-01）
王鑫博,王维,黄特[9]（2014）在《低温热处理制备掺铝氧化锌薄膜技术的研究》一文中研究指出使用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备掺铝氧化锌薄膜,研究热处理温度对薄膜结构、形貌、电学性能的影响。结果表明:使用低温热处理制备的薄膜具有更好的C轴取向生长,表面平整质密,面阻最小达到1800Ω/□。(本文来源于《沈阳理工大学学报》期刊2014年01期）
闫宁宁,汪洪,刘静,左岩[10]（2013）在《氧分压对室温制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响》一文中研究指出室温下,采用脉冲直流反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺铝的氧化锌(ZnO:Al,AZO)透明导电薄膜。采用配有λ-sensor氧分压传感器的控制器闭环控制氧分压,研究了氧分压对薄膜结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明:在不同的氧分压下制备的AZO薄膜均为多晶纤锌矿结构,具有[002]择优取向,其晶体呈柱状生长,晶粒之间结合紧密。氧分压为3.36×10–2Pa时,AZO薄膜的性能指数最高,其电阻率为1.15×10–3·cm,相应的载流子浓度为2.1×1020/cm3,载流子迁移率为25.8cm2/(V s),可见光透射率为79.1%。随着AZO薄膜的载流子浓度由1.03×1020cm–3增加到3.64×1020cm–3,薄膜禁带宽度由3.49eV增大到3.72eV。(本文来源于《硅酸盐学报》期刊2013年09期）
掺铝氧化锌薄膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层。研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响。结果表明,最优Ar气流量为22 cm~3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400~1100 nm波长下的光透过率为87.2%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
掺铝氧化锌薄膜论文参考文献
[1].左宇杰.富勒烯溶液和掺铝氧化锌薄膜的光限幅效应研究[D].南京航空航天大学.2019
[2].杨盼,赵晓冲,杨丽军,顾友辰,林红.氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响[J].稀有金属材料与工程.2018
[3].刘家骁,代清平,邓朝勇.掺铝氧化锌薄膜的制备与表征及其与铁电薄膜复合的性能研究[J].贵州大学学报(自然科学版).2018
[4].张增光,汤洋.不同温度对原子层沉积掺铝氧化锌薄膜性能的影响[J].真空科学与技术学报.2017
[5].杨盼,赵晓冲,杨丽军,顾友辰,林红.氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响[C].第十九届全国高技术陶瓷学术年会摘要集.2016
[6].翟旺建,周兆彪.室温溅射掺铝氧化锌薄膜的微结构及其光学性能[J].玉林师范学院学报.2014
[7].范丽琴.衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响[J].物理实验.2014
[8].崔硕.掺铝氧化锌薄膜的制备及其光电性能研究[D].辽宁师范大学.2014
[9].王鑫博,王维,黄特.低温热处理制备掺铝氧化锌薄膜技术的研究[J].沈阳理工大学学报.2014
[10].闫宁宁,汪洪,刘静,左岩.氧分压对室温制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响[J].硅酸盐学报.2013