论文摘要
随着微电子和微机械加工技术的发展,研制尺寸小、重量轻、功耗低、响应快且易与IC(Integrated Circuit)集成的微热板式气压传感器成为可能并受到重视。在国内,对半导体固态压力传感器的研究已经很深入,但对微热板式气压传感器的研究才刚刚起步。在此类微传感器的研究中,针对传感器响应特性及各种性能指标的测试研究具有非常重要的意义。 本文首先介绍了微热板式气压传感器的结构,分析了其传热特性,设计了恒压电桥、恒电流、恒功率以及恒温四种测试方案。同时,从理论上分析了不同方案下传感器的响应特性。在此基础上,为实测微热板式气压传感器的工作特性,研制了一种基于ARM的微热板式气压传感器测试仪。文中详细论述了测试仪的全部设计开发过程,包括测试仪的需求分析、总体设计、功能模块的划分以及软硬件的设计与实现。 测试仪在硬件方面,主要包括基于S3C44B0X的核心板设计,集成ADC、DAC以及其它I/O设备的副板卡设计,模拟信号处理板卡的设计,仪表外壳及接口设计。在软件方面,采用μC/OS-Ⅱ实时操作系统的多任务环境,利用其多任务调度功能,合理地协调和组织测试仪的各种硬件资源,提高整个系统的实时性和可靠性。采用μC/GUI实现了测试仪的波形显示功能,便于用户观察传感器信号和气压信号的变化趋势及细微波动。系统中各个功能都设有中文帮助菜单,以便于用户使用。此外,测试仪还扩展了与上位机通信、自动报警、控制量输出和气压模拟量输出等功能。 该测试仪的研制也为微热板式气压传感器将来的产业化做好了准备。经过实验证明,测试仪各项功能及测量精度均满足设计要求。
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摘要Abstract1 绪论1.1 微热板式气压传感器的研究现状1.2 测试仪表的研究现状与趋势1.3 本文研究的内容2 微热板式气压传感器及其测试方案的设计2.1 微热板式气压传感器的结构2.2 微热板式气压传感器传热特性的分析2.3 微热板式气压传感器测试方案的设计与分析2.3.1 恒压电桥模式2.3.2 恒电流模式2.3.3 恒功率模式2.3.4 恒温模式3 测试仪的总体设计3.1 测试仪的开发方案3.2 测试仪的需求分析3.3 测试仪的总体框架3.4 微控制器的选择3.5 操作系统的选择4 测试仪的硬件设计4.1 S3C44B0X基本外围电路设计4.1.1 时钟电路设计4.1.2 复位电路设计4.1.3 JTAG调试接口设计4.2 存储系统设计4.3 键盘接口电路设计4.4 LCD接口电路设计4.5 串行通信接口电路设计4.6 A/D转换模块电路设计4.7 D/A转换模块电路设计4.8 电源模块设计4.8.1 利用桥式整流电路实现±15V电源4.8.2 核心板及副板卡电源模块4.8.3 用于电桥测试模式的可调电压源4.8.4 用于恒电流测试模式的可调电流源5 测试仪的软件开发5.1 系统引导加载程序的设计5.1.1 阶段1的程序设计5.1.2 阶段2的程序设计5.2 μCOS-Ⅱ在 S3C44B0X上的移植5.2.1 μC/OS-Ⅱ文件体系5.2.2 μC/OS-Ⅱ的移植条件5.2.3 μC/OS-Ⅱ的移植步骤5.3 基于μC/OS-Ⅱ的功能扩展5.3.1 键盘驱动程序设计5.3.2 串口驱动程序设计5.3.3 ADC驱动程序设计5.3.4 DAC驱动程序设计5.3.5 基于 μC/OS-Ⅱ的 μC/GUI在 S3C44B0X上的移植5.4 基于μC/OS-Ⅱ的应用程序开发5.4.1 信号采集任务5.4.2 数据处理与存储任务5.4.3 测量显示任务5.4.4 与上位机的通信任务6 测试仪在传感器测试中的应用6.1 测试系统6.2 测试结果与分析结论参考文献攻读硕士学位期间发表学术论文情况致谢大连理工大学学位论文版权使用授权书
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标签:微热板论文; 气压传感器论文;