论文摘要
本文简要回顾了国内外激光加工技术、激光电源的发展过程,分析了激光加工技术和激光电源的现状。脉冲固体激光器电源系统一般有以下几部分组成:充电回路,放电回路,泵浦灯的触发电路和预燃电路。本文针对放电回路,泵浦灯的触发电路和预燃电路部分分别加以论述。特别是放电回路是电源系统的核心,文中对其进行了从原理分析到具体设计的详细阐述。在放电控制方面,以模拟乘法器MPY634 为核心器件进行放电能量控制,设计了放电能量逐个脉冲计算电路,并根据氙灯放电瞬时类似短路的特性设计了相应的保护电路。采用μc/os-Ⅱ嵌入式操作系统并实现μc/os-Ⅱ在LPC2210 上的移植。使用ARM32 位LPC2210 单片机实现对放电回路,泵浦灯的触发电路和预燃电路部分,掩膜加工系统过程的协调控制,并通过实验验证了本文掩膜加工控制系统的设计和分析。
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