本文主要研究内容
作者郝春晓,张文涛,王献英,黄逊志（2019）在《掩模台水平向的二维衍射平面光栅测量模型验证》一文中研究指出：为了降低掩模台位置测量的位置误差,首先阐述了二维衍射平面光栅尺在掩模台上的布局与信号采集模块;然后运用两个二维衍射平面光栅尺建立掩模台位置测量模型;最后以双频激光干涉仪作为参考测量系统,对比两个测量系统的不确定度。实验证明:二维衍射平面光栅尺测量系统的不确定度比较低,可以有效地实现掩模台的三自由度位置超高精密测量。
Abstract
wei le jiang di yan mo tai wei zhi ce liang de wei zhi wu cha ,shou xian chan shu le er wei yan she ping mian guang shan che zai yan mo tai shang de bu ju yu xin hao cai ji mo kuai ;ran hou yun yong liang ge er wei yan she ping mian guang shan che jian li yan mo tai wei zhi ce liang mo xing ;zui hou yi shuang pin ji guang gan she yi zuo wei can kao ce liang ji tong ,dui bi liang ge ce liang ji tong de bu que ding du 。shi yan zheng ming :er wei yan she ping mian guang shan che ce liang ji tong de bu que ding du bi jiao di ,ke yi you xiao de shi xian yan mo tai de san zi you du wei zhi chao gao jing mi ce liang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自仪器仪表用户的郝春晓,张文涛,王献英,黄逊志，发表于刊物仪器仪表用户2019年06期论文，是一篇关于平面光栅尺论文,模型论文,自由度论文,误差论文,仪器仪表用户2019年06期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自仪器仪表用户2019年06期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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