望远系统分辨率检测技术研究

望远系统分辨率检测技术研究

论文摘要

针对望远系统的分辨率检测系统的难点和特点,本文采用高分辨率长焦距摄像物镜和变倍视频显微镜组合的CCD摄像物镜,把标准分辨率板的图案通过图像采集系统显示在计算机显示屏上,通过计算机判读分辨率板的板号和组号自动显示和存储测量结果,得出一种人机交互式的望远系统分辨率测试系统。该测试系统与传统测试系统相比,具有检测快速,准确,数字化、自动化程度高等优点,消除了目视检查方法的缺陷,大大减少了主观因素的影响,实现了人机交互,降低了检验人员的劳动强度。本文首先叙述了分辨率检测的意义,通过介绍照相系统、显微系统及传统望远系统分辨率检测方法的不同,提出了本文的测试方案。接着介绍了该系统的主要组成部分,重点介绍整个分辨率检测系统的设计,设计包括平行光管复消色差物镜、望远系统、视度片、长焦距摄像物镜和视频显微物镜。最后分析了系统的主要误差来源及其系统检测精度,并给出了精度分析结论。实验结果表明,该系统工作性能稳定可靠,分辨率检测系统达到了测试精度分辨率板3.3~200lp/mm,分辨率5.8″的要求。

论文目录

  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 目录
  • 第一章 绪论
  • 1.1 引言
  • 1.2 本文研究目的和意义
  • 1.3 本文研究的主要内容和主要技术指标
  • 第二章 光学系统分辨率测试原理
  • 2.1 衍射受限系统的分辨率
  • 2.2 分辨率图案
  • 2.3 光学零件分辨率的测量
  • 2.4 显微系统分辨率的测量
  • 2.5 照相物镜分辨率检测
  • 2.6 望远系统分辨率的测量
  • 2.7 低对比分辨率检测
  • 第三章 分辨率检测系统分系统概述
  • 3.1 光学隔振平台
  • 3.2 光学目标发生器
  • 3.3 六维调整台
  • 3.4 CCD变倍摄像系统
  • 3.5 信号处理与控制系统
  • 3.6 软件系统
  • 第四章 分辨率检测系统分系统设计
  • 4.1 平行光管物镜的设计
  • 4.2 望远系统的设计
  • 4.3 视度片的设计
  • 4.4 高分辨率长焦距摄像物镜的设计
  • 4.5 变倍视频显微镜物镜的设计
  • 第五章 系统精度分析
  • 5.1 系统精度的来源
  • 5.2 系统精度分析
  • 5.3 实验结果精度分析
  • 5.4 系统误差来源
  • 结论
  • 致谢
  • 附录表
  • 参考文献
  • 相关论文文献

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