离轴三反系统非球面检验与系统装调

论文摘要

离轴三反射镜系统比起其它的系统具有体积小,结构紧凑,无中心遮拦,视场可以做大,焦距可以做长,口径可以做大等优点,所以被广泛的应用到空间遥感和光刻系统中。这样,对于非球面尤其是凸非球面的检验和离轴三反系统的装调就显得由为重要。本文主要工作是对离轴三反系统中的非球面的检验方法进行的总结,并着重介绍了对于凸非球面的检验,及如何计算检验用的补偿镜的初始结构。最后阐述了将三反系统中第二镜改为球面镜以便简化装调过程的可行性。

论文目录

• 摘要
• ABSTRACT
• 目录
• 第一章 绪论
• §1.1 引言
• §1.2 国内外发展现状
• §1.3 论文研究的目的和意义
• §1.4 论文研究的内容
• 第二章 非球面镜的检验方法
• §2.1 阴影检验法
• §2.2 其他一些检验方法
• 第三章 凸非球面检验
• §3.1 平行光补偿检验
• §3.2 平行光自准直补偿检验法
• §3.3 Offner补偿检验及改进
• 第四章 离轴三反系统装调问题
• §4.1 非球面表达式分析
• §4.2 离轴三反系统装调
• 结论
• 致谢
• 参考文献