硅油液体基片在Ar等离子体中的稳定性研究

论文摘要

薄膜材料和超细纳米颗粒材料由于独特的电、光、力性能,一直得到人们的高度关注。通常,人们采用各种固体表面作为沉积薄膜或纳米颗粒的基底,近年来使用聚合物软基底来沉积、生长各种薄膜或纳米颗粒,引起了人们极大的兴趣。例如,为了获得颗粒尺寸可控的、干净且没有副产品的纳米颗粒,人们采用低蒸汽压聚合物软基底表面来生长金属纳米颗粒。目前,硅油和离子液体被用作聚合物软基底,而在硅油或离子液体软基底上沉积的薄膜或纳米颗粒主要有Fe、Ag、Au等纳米颗粒和Fe薄膜。人们发现在软基底沉积薄膜或纳米颗粒时,会形成各种分形结构,例如Ag纳米颗粒的分形凝聚体和Fe的圆盘凝聚结构,由于不同的颗粒凝聚行为可能导致材料性能的差异,因此,控制颗粒凝聚行为对纳米颗粒的制备非常重要。目前人们将不同的凝聚行为主要归结为实验参数的差异,极少考虑软基底表面状态的影响。在液体表面,纳米颗粒的形成是粒子作二维随机迁移运动的结果,由于粒子二维随机迁移运动的均方位移<Δr2>为

论文目录

• 中文摘要
• Abstract
• 第一章 绪论
• 1.1 研究背景
• 1.2 本文的主要研究内容
• 第二章 样品制备及表征方法
• 2.1 硅油液体基片的处理方法
• 2.1.1 双频电容耦合等离子体系统（DF-CCP）
• 2.1.2 实验参数
• 2.2 硅油液体基片处理前后微结构的扫描电镜分析
• 2.3 硅油液体基片结构的傅立叶变换红外光谱表征方法
• 2.4 放电等离子体的发射光谱（OES）分析
• 第三章 硅油液体基片在Ar 等离子体中的结构不稳定性分析
• 3.1 等离子体作用的硅油液体基片表面形貌分析
• 3.2 等离子体作用的硅油液体基片键结构分析
• 3.2.1 60MHz/2MHz DF-CCP 等离子体作用的硅油键结构分析
• 3.2.2 13.56MHz/2MHz DF-CCP 等离子体作用的硅油键结构分析
• 第四章 Ar 等离子体处理硅油液体基片时的空间等离子体分析
• 4.1 60MHz/2MHz DF-CCP Ar 等离子体作用硅油液体的发射光谱分析
• 4.2 13.56MHz/2MHz DF-CCP Ar 等离子体作用硅油液体的发射光谱分析
• 第五章 结论
• 5.1 本文的主要结果
• 5.2 存在的主要问题和进一步的研究方向
• 参考文献
• 攻读学位期间公开发表论文、论著
• 致谢