论文摘要
直线超声电机利用压电陶瓷材料的逆压电效应,将压电材料的微观形变转化为弹性体的微幅超声振动,再通过定子和动子之间的摩擦作用,转换成动子的宏观直线运动,从而直接推动负载。具有不需要转换机构就能产生直线运动、结构简单、响应快、断电自锁和分辨率高的优点,更适用于现代化的高新技术产业。为了充分发挥超声电机优良的性能,研究和发展新型的驱动控制器具有十分重要的意义。本文主要内容概括如下:本文以双变幅杆V形直线超声电机为驱动部件,设计了基于TMS320F2812的直线驱动控制平台。该系统采用数字电路搭建,可以产生多种不同波形的驱动信号,提供了调压、调频、调相控制超声电机速度的研究平台,实现了纳米定位以及采集数据从而完善超声电机数学模型的功能。驱动控制平台使用TI公司的TMS320F2812浮点DSP为核心芯片,运用FPGA等外围器件产生信号,采用多个反馈模块,对驱动平台的速度、温度、压力以及电压电流的信息进行反馈和采集,并将信息上传到PC机,形成一个完整的闭环控制模块。在实现驱动控制平台软硬件的基础上,开展对驱动控制平台的研究。测试了驱动控制平台产生多种信号驱动电机行走的速度,并针对幅值、相位、频率分别改动的情况做了大量实验。驱动平台可以在微动步进下较稳定地到达目标位置,定位精度可达到100nm以内。本课题在2009年国家自然科学基广东联合基金重点项目“精密电子制造装备关键理论与技术研究”(基金号:U0934004)的资助下,研究了基于TMS320F2812直线超声电机驱动控制平台,为超声电机的精密定位搭建了完善的硬件平台,为超声电机的研究创造了良好的实验环境,为超声电机投入商业化使用奠定了基础。
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