论文摘要
利用介质阻挡放电的方法在大气压下产生低温等离子体,是当前等离子体学科研究的热点,因此用于介质阻挡放电的高频高压脉冲电源成为研究的重点。本课题以串联谐振型高频脉冲电源为研究对象,采用容性移相PWM控制和频率跟踪技术,设计出适合于介质阻挡放电负载的高频高压电源,解决了电源在高频率下功率因数低、开关应力大的问题。利用电源专用的数字信号控制芯片dsPIC30F2020实现了数字化控制系统的设计,并对影响介质阻挡放电的因素进行了试验研究。本文的主要工作内容为:1.通过对介质阻挡放电负载特性分析的基础上,选择串联谐振电路作为主电路,采用移相PWM和频率跟踪的控制方案。重点比较了基于电流频率跟踪的移相PWM控制下的三种工作方式即感性、容性和谐振状态下电路的负载特性和换流过程,得到容性移相PWM控制适合于使用IGBT为开关器件的串联谐振电路,易于实现软开关技术。在频率跟踪环节选择上,对比传统的模拟锁相环技术,提出采用数字化的频率跟踪技术,并设计了基于数字控制芯片的频率跟踪方案。2.在理论分析的基础上,设计了介质阻挡供电电源的主电路参数,重点研究了容性移相PWM控制策略和电流频率跟踪的数字化实现,并设计了基于dsPIC30F2020的电流频率跟踪的容性移相PWM控制的数字化控制系统,包括电压电流采样电路、电流过零采样电路、发生器端电压PID控制等环节。通过对电流的频率跟踪,结合发生器端电压的PID闭环控制,实现了容性移相PWM控制策略和功率调节。3.在实验室组建了介质阻挡放电实验系统,研究了施加电压幅值、气隙距离、阻挡介质的厚度和介电常数、添加筛网、电极的结构等因素对DBD放电特性的影响,结果表明,DBD的放电功率随施加电压幅值和介质的介电常数的增加而增加,随气隙距离和介质厚度的增加而减小。在阻挡介质与电极间添加金属筛网能使放电更均匀,针-板电极比板-板电极在同样条件下能使放电更稳定。
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