本文主要研究内容
作者李美萱,李宏,张斯淇,张文颖,郭明（2019）在《基于离散抽样加密算法的衍射光学元件设计》一文中研究指出：为满足浸没式光刻照明系统对掩模面高均匀性和不同照明模式的要求,对照明系统中的照明模式变换器进行了研究。采用衍射光学元件(Diffractive Optical Elements,DOE)来产生各种照明模式,从光栅结构出发,经两步变换分析了光栅转变为DOE的过程。并提出一种离散抽样加密算法,以抽样线宽1～5μm的四极照明DOE为例,揭示了DOE特征尺寸、衍射效率和光强分布非均匀性的实际对应关系。设计结果表明:随着抽样线宽的减小,整形光束的衍射效率和均匀性将得到较大提高。利用接触式光刻工艺完成了特征尺寸为1.76μm×1.76μm的16台阶照明模式变换DOE的制作,通过搭建光学测试平台对不同照明模式下DOE的光强非均匀性和衍射效率进行了测试,结果满足设计要求,验证了离散抽样加密算法能够有效指导照明模式变换系统DOE的设计。
Abstract
wei man zu jin mei shi guang ke zhao ming ji tong dui yan mo mian gao jun yun xing he bu tong zhao ming mo shi de yao qiu ,dui zhao ming ji tong zhong de zhao ming mo shi bian huan qi jin hang le yan jiu 。cai yong yan she guang xue yuan jian (Diffractive Optical Elements,DOE)lai chan sheng ge chong zhao ming mo shi ,cong guang shan jie gou chu fa ,jing liang bu bian huan fen xi le guang shan zhuai bian wei DOEde guo cheng 。bing di chu yi chong li san chou yang jia mi suan fa ,yi chou yang xian kuan 1～5μmde si ji zhao ming DOEwei li ,jie shi le DOEte zheng che cun 、yan she xiao lv he guang jiang fen bu fei jun yun xing de shi ji dui ying guan ji 。she ji jie guo biao ming :sui zhao chou yang xian kuan de jian xiao ,zheng xing guang shu de yan she xiao lv he jun yun xing jiang de dao jiao da di gao 。li yong jie chu shi guang ke gong yi wan cheng le te zheng che cun wei 1.76μm×1.76μmde 16tai jie zhao ming mo shi bian huan DOEde zhi zuo ,tong guo da jian guang xue ce shi ping tai dui bu tong zhao ming mo shi xia DOEde guang jiang fei jun yun xing he yan she xiao lv jin hang le ce shi ,jie guo man zu she ji yao qiu ,yan zheng le li san chou yang jia mi suan fa neng gou you xiao zhi dao zhao ming mo shi bian huan ji tong DOEde she ji 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自红外与激光工程的李美萱,李宏,张斯淇,张文颖,郭明，发表于刊物红外与激光工程2019年09期论文，是一篇关于浸没式光刻论文,照明模式变换论文,衍射光学元件论文,离散抽样加密算法论文,红外与激光工程2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自红外与激光工程2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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