p型ZnO薄膜的制备及掺杂机理研究

p型ZnO薄膜的制备及掺杂机理研究

论文摘要

ZnO为Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料,具有压电、热电、气敏、光电导等多种性能,在许多领域都有广泛的应用。近年来ZnO在光电领域的应用引起了人们的很大关注,这是由于ZnO在室温下禁带宽度为3.37eV,可以用来制备蓝光或紫外发光二极管(LEDs)和激光器(LDs)等光电器件。尤其是ZnO具有较高的激子束缚能(60meV),大于GaN的24meV和室温下的热能26meV,完全有可能在室温下实现有效的激子发射,因此在光电领域具有极大的发展潜力。ZnO在光电领域的应用依赖于高质量的n型和p型薄膜的制备。目前人们通过掺杂Ⅲ族元素已经获得了具有较好电学性能的n型ZnO。然而本征ZnO在内部容易产生各种施主型缺陷,发生自补偿作用使得p型ZnO薄膜难以制备,这种情况很大程度上限制了ZnO薄膜在光电器件方面的发展。因此如果通过理论和实验找到合适的受主杂质实现高质量的p型掺杂将对ZnO的实际应用起到极大的推动作用。尽管许多研究小组对ZnO各种可能的受主元素进行了理论研究,但获得的结论却不尽相同,并且有的与实验还存在着矛盾。因此本论文基于密度泛函理论进一步对ZnO的Ⅰ族、Ⅴ族掺杂元素进行了分析,试图找出最优的掺杂元素。在Ⅴ族元素当中,计算出N的受主电离能为0.31eV,远小于P(0.77eV)和As(0.89eV),并且N的受主形成能在这三种元素当中也是最小的,因此可以说N是Ⅴ族元素中比较理想的p型掺杂元素。Ⅰ族元素的情况相对Ⅴ族元素来说比较复杂。理论计算出Li、Na的受主电离能分别0.11和0.16eV,两者相差很小。而K的受主电离能则相对较大,为0.29eV,所以从电离能角度可以首先排除K元素。在对形成能研究时发现,与Na元素相比,Li替代位受主难以形成,而其间隙位施主形成则比较容易。综合考虑,Na作为ZnO的p型掺杂元素较好。而Na和N相比较,Na掺杂时会有间隙位施主补偿的影响,因此从理论上来说在所有的掺杂元素当中N是最理想的掺杂元素,Na掺杂效果相对于N来说稍差。在理论分析的指导下,我们首先制备了N掺杂p型ZnO薄膜。本论文中主要采用了两种方法实现N掺杂。一种是热氧化Zn3N2法,此方法可以克服N不易掺入ZnO的困难,并且工艺比较简单,具有较好的重复性。我们在实验中研究了热氧化温度和热氧化时间对薄膜性能的影响。XRD和紫外吸收光谱测试结果表明Zn3N2完全转变为ZnO所需温度为350℃。Hall测试表明热处理温度为400℃经过3个小时热处理后获得的ZnO薄膜具有最好的p型性能,载流子浓度为1.22×1017cm-3,电阻率为83.2Ωcm。另外一种方法是以N2为掺杂源的直流反应磁控溅射法。研究发现在一定的衬底温度下,空穴浓度会随着N2流量的增加而增大,N2流量为20sccm时获得的p型ZnO薄膜具有最高的空穴浓度。但N2流量超过此值时,薄膜的导电类型会由p型转变为n型。而当N2流量固定为20sccm时,400℃的衬底温度下制备的ZnO薄膜具有最优的p型性能。利用本方法获得的p型ZnO薄膜的空穴浓度为5.58×1017cm-3,电阻率为8.44Ωcm。实验中发现N掺杂p型ZnO电学性能不稳定,为此本文对Na掺杂ZnO进行了研究。通过XRD、SEM和Hall等测试手段研究了衬底温度和靶材中Na含量对ZnO薄膜性能的影响。实验中发现靶材中Na含量为0.2%、衬底温度550℃时制备的p型ZnO薄膜具有较好的晶体质量,并且电学性能也很好,载流子浓度可达1.07×1018cm-3左右,电阻率为27.6Ωcm。在对Na掺杂薄膜的电学稳定性测试时发现,存放一个月后,薄膜的电学性能并没有发生明显的退化,优于采用N掺杂制备的p型ZnO薄膜。

论文目录

  • 摘要
  • Abstract
  • 目录
  • 第一章 文献综述
  • 1.1 研究背景
  • 1.2 ZnO的基本性质及应用
  • 1.2.1 ZnO的晶体结构
  • 1.2.2 ZnO的光电性能
  • 1.2.3 ZnO的压电、压阻性能
  • 1.2.4 ZnO的压敏性能
  • 1.2.5 ZnO的气敏性能
  • 1.3 ZnO中的本征缺陷和n型掺杂
  • 1.3.1 ZnO中的本征缺陷
  • 1.3.2 ZnO中的n型掺杂
  • 1.4 p型ZnO研究进展
  • 1.4.1 本征p型ZnO
  • 1.4.2 Ⅰ族元素掺杂
  • 1.4.3 Ⅴ族元素掺杂
  • 1.4.4 N与Ⅲ族元素共掺
  • 1.5 本文研究目的及研究内容
  • 第二章 ZnO薄膜的制备方法及表征
  • 2.1 直流反应溅射镀膜
  • 2.2 实验设备
  • 2.3 实验制备过程
  • 2.3.1 靶材的制备
  • 2.3.2 衬底的选择与清洗
  • 2.3.3 薄膜制备过程
  • 2.4 ZnO薄膜性能测试
  • 第三章 p型ZnO掺杂元素的研究
  • 3.1 密度泛函理论简介
  • 3.2 理论计算模块及参数设置
  • 3.3 纯ZnO的电子结构
  • 3.4 V族元素掺杂ZnO的理论研究
  • 3.5 Ⅰ族元素掺杂ZnO的理论研究
  • 3.6 本章小结
  • 第四章 N掺杂p型ZnO薄膜的制备与性能
  • 3N2制备p型ZnO薄膜'>4.1 热氧化Zn3N2制备p型ZnO薄膜
  • 4.1.1 薄膜的制备
  • 4.1.2 热氧化法制备的ZnO薄膜晶体结构分析
  • 4.1.2.1 热氧化温度对薄膜结构性能的影响
  • 4.1.2.2 热氧化时间对薄膜结构性能的影响
  • 4.1.3 热氧化法制备的ZnO薄膜的光学性能
  • 4.1.3.1 热氧化温度对薄膜光学性能的影响
  • 4.1.3.2 热氧化时间对薄膜光学性能的影响
  • 4.1.4 热氧化法制备的ZnO薄膜的电学性能
  • 4.1.4.1 热氧化温度对薄膜电学性能的影响
  • 4.1.4.2 热氧化时间对薄膜电学性能的影响
  • 4.1.5 薄膜的厚度
  • 4.2 反应磁控溅射制备p型ZnO薄膜
  • 4.2.1 ZnO薄膜的制备
  • 4.2.2 薄膜成分分析
  • 4.2.3 薄膜的晶体结构
  • 2流量对薄膜结构性能的影响'>4.2.3.1 N2流量对薄膜结构性能的影响
  • 4.2.3.2 衬底温度对薄膜结构性能的影响
  • 4.2.4 薄膜的光学性能
  • 2流量对薄膜光学性能的影响'>4.2.4.1 N2流量对薄膜光学性能的影响
  • 4.2.4.2 衬底温度对薄膜光学性能的影响
  • 4.2.5 薄膜的电学性能
  • 2流量对薄膜电学性能的影响'>4.2.5.1 N2流量对薄膜电学性能的影响
  • 4.2.5.2 衬底温度对薄膜电学性能的影响
  • 4.2.6 ZnO薄膜的厚度
  • 4.3 N掺杂ZnO薄膜电学性能的稳定性
  • 4.4 本章小结
  • 第五章 Na掺杂p型ZnO薄膜的制备与性能
  • 5.1 薄膜中元素成分分析
  • 5.2 Na掺杂ZnO薄膜的结构性能
  • 5.2.1 靶材中Na含量对薄膜结构性能的影响
  • 5.2.2 衬底温度对薄膜结构性能的影响
  • 5.3 Na掺杂ZnO薄膜的表面形貌
  • 5.3.1 靶材中Na含量对ZnO薄膜表面形貌的影响
  • 5.3.2 衬底温度对ZnO薄膜表面形貌的影响
  • 5.4 Na掺杂ZnO薄膜的电学性能
  • 5.4.1 靶材中Na含量对薄膜电学性能的影响
  • 5.4.2 不同衬底温度对薄膜电学性能的影响
  • 5.5 Na掺杂ZnO薄膜电学性能的稳定性
  • 5.6 本章小结
  • 第六章 结论
  • 参考文献
  • 博士期间发表和正在评审的论文和专利
  • 致谢
  • 相关论文文献

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