论文摘要
椭圆偏振检测是通过分析偏振光在待测物表面反射前后偏振状态的改变来获得待测物表面所镀膜层的厚度和折射率的一种光学检测方法。LabVIEW是一种基于图形化编程语言的检测系统软件开发平台。本文就是利用LabVIEW在仪器控制方面的优势,设计了一套基于LabVIEW控制的消光式椭圆偏振测量系统。国内激光打标发展至今已由开始的高速发展到了稳定发展的阶段,为寻求新的增长点,在不锈钢打标上出现了不锈钢彩色打标的新工艺开发。目前这方面的研究还只限于对彩色打标实际的操作和调试上,很少进行理论上的研究和机理的分析。不锈钢着色膜是一定功率的激光与不锈钢发生反应,在其表面生成一层氧化膜。用本文的消光式椭圆偏振测量系统检测不锈钢着色膜的物理参数,探讨薄膜折射率和厚度与不锈钢着色膜的颜色的关系。本文的主要工作有以下几方面:首先,阐述消光式椭圆偏振测量的原理,推导四种样品模型的薄膜折射率和厚度与椭偏参数的关系,并从椭圆偏振方程出发,编写计算薄膜厚度和折射率的计算程序。其次,设计传动齿轮组连接偏振片和步进电机,通过对步进电机的细分控制提高偏振片的转动精度。再次,介绍LabVIEW的软件环境,基于LabVIEW设计了消光式椭圆偏振测量系统,实现了对薄膜的自动测量。接着,设计消光式椭圆偏振测量光学系统,调节光路,搭建消光式椭圆偏振测量实验平台。然后,用此测量系统检测不锈钢着色膜的折射率和膜层厚度,分析不同颜色的着色膜的情况。探讨着色膜颜色与薄膜折射率和厚度的关系。从实验结果显示,不同颜色的着色膜对应不同折射率和膜层厚度。不同颜色着色膜中的成分有差异,使得折射率的变化较大。一定范围膜层厚度内的着色膜呈现一定的颜色,随着膜厚的增大,薄膜的颜色由紫-蓝偏紫-蓝-蓝绿-绿-黄绿-黄-橙-红的规律进行变换。最后,对于整个检测过程的误差进行分析,并探讨减小误差的方法。