论文摘要
高气压下的直流辉光放电的放电特性对碳纳米管的沉积有很大影响。通过研究电极间距和电压的关系、放电的伏安特性,电极间距对等离子体状态的影响,建立了高气压直流辉光等离子体CVD 方法沉积碳纳米管的工艺。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱、透射电子显微镜测试分析,研究了碳纳米管的生长特性。基片的种类和温度、反应气体压强、甲烷浓度等工艺参数对碳纳米管生长特性都有较大影响。用拉曼光谱研究了碳纳米管的特征峰变化情况。采用该方法制备的碳纳米管为多壁管,可以制备出Y 型管,管壁具有竹节形貌。
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