张晶心:氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性研究论文

张晶心:氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性研究论文

本文主要研究内容

作者张晶心,刘卫国,葛少博,周顺(2019)在《氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性研究》一文中研究指出:为研究氮化硅微金字塔结构化薄膜的分光特性,使用单点金刚石切削制备微金字塔结构,结合纳米压印技术制备氮化硅微金字塔结构薄膜,对其透射率与散射进行检测。通过对底面角度可变的氮化硅微金字塔结构化薄膜的近场光场分布展开仿真分析与实验研究,基于射线追踪方法建立数值仿真模型分析结构化薄膜的近场光场分布。研究结果表明:通过调整切削方向实现对微金字塔结构阵列底面角度0°~90°的控制,检测结果证明薄膜光学微金字塔结构化薄膜可以实现对光束传播方向与能量分布的调制,改变微金字塔结构的底面角度,可以让光波按照底角的设计传播,这一现象为微光电系统的光路设计提供了更广的自由度。

Abstract

wei yan jiu dan hua gui wei jin zi da jie gou hua bao mo de fen guang te xing ,shi yong chan dian jin gang dan qie xiao zhi bei wei jin zi da jie gou ,jie ge na mi ya yin ji shu zhi bei dan hua gui wei jin zi da jie gou bao mo ,dui ji tou she lv yu san she jin hang jian ce 。tong guo dui de mian jiao du ke bian de dan hua gui wei jin zi da jie gou hua bao mo de jin chang guang chang fen bu zhan kai fang zhen fen xi yu shi yan yan jiu ,ji yu she xian zhui zong fang fa jian li shu zhi fang zhen mo xing fen xi jie gou hua bao mo de jin chang guang chang fen bu 。yan jiu jie guo biao ming :tong guo diao zheng qie xiao fang xiang shi xian dui wei jin zi da jie gou zhen lie de mian jiao du 0°~90°de kong zhi ,jian ce jie guo zheng ming bao mo guang xue wei jin zi da jie gou hua bao mo ke yi shi xian dui guang shu chuan bo fang xiang yu neng liang fen bu de diao zhi ,gai bian wei jin zi da jie gou de de mian jiao du ,ke yi rang guang bo an zhao de jiao de she ji chuan bo ,zhe yi xian xiang wei wei guang dian ji tong de guang lu she ji di gong le geng an de zi you du 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自西安工业大学学报的张晶心,刘卫国,葛少博,周顺,发表于刊物西安工业大学学报2019年02期论文,是一篇关于微金字塔论文,结构化薄膜论文,减反射论文,纳米压印论文,光束调制论文,西安工业大学学报2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自西安工业大学学报2019年02期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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