论文摘要
为了实现对玻璃厚度的高精度检测,本文提出一套玻璃厚度高精度检测装置。主要的组成机构包括有光学测量系统、光学分析系统、数据处理系统三大部分。文中主要针对玻璃厚度高精度检测仪的光学分析系统进行设计。其中包括对光源的选择、共焦系统的设计和探头的选择。在对光源的选择上,因为该系统的测量原理是使用光学系统的位置色差来测量厚度,所以所选光源的光谱范围越宽,系统的测量范围越大。在对共焦系统的设计中,选取一种光学系统能在有效降低七种初级像差中的垂轴像差和球差的前提下产生较大的位置色差,进而通过控制位置色差的大小,使位置色差与波长成线性关系,从而对测量数据进行处理计算,且能提高测量精度。最后是对探头的选择,它是根据共焦光学系统得出的,并且根据被测件厚度和测量要求进行更换。
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