论文摘要
半球谐振陀螺是20世纪60年代才出现的一种新型陀螺。半球谐振陀螺由半球形谐振子、静电激励罩、敏感读出基座3部分组成,均由高品质因数(Q)的熔融石英玻璃材料精密加工而成,并在表面上进行金属化处理。将振子、静电激励罩、敏感基座精密装配焊接在一起,并密封在一个高真空的容器中,形成一个完整而独立的角度或角速度传感器。与传统的机械陀螺和光学陀螺相比,半球谐振陀螺具有如下优势:结构上无高速转子、无活动部件;不需预热,启动时间短;信号频带宽,漂移噪声低;能承受大的机动过载;抗核辐射,并可经受短时间电源中断的影响;体积小,重量轻,功耗低,寿命长,非常适合空间应用。所以研究半球陀螺具有重要的意义。在考虑石英材料性质和所加工形状特性的基础上,设计了半球谐振陀螺中最重要部分——谐振子的成型工艺。在研究中,利用了单点金刚石车削技术加工模具,对研磨工艺、保形磨具、研磨余量、溅射镀膜、镀膜材料、激光切割进行了研究来实现性能指标。对未来我国半球陀螺事业和以后深入研究打下了基础。