微通道板双面抛光工艺研究

论文摘要

微通道板(MCP)是一种先进的电子倍增器,是微光像增强器的核心部件。双面抛光工艺是微通道板制造的重要工艺。本文利用高分辨率光学显微镜、扫描电子显微镜研究了微通道板表面的显微形貌和结构,分析了双面抛光工艺过程中的化学侵蚀对微通道板表面质量的影响。依据实验结果选取合适的PH值抛光液和抛光液添加剂,可以获得高质量粗糙度表面的微通道板,同时能减少划痕等表面质量缺陷,能够有效提高微通道板生产的良品率。

论文目录

• 摘要
• ABSTRACT
• 1 绪论
• 1.1 本论文的研究背景
• 1.2 本论文研究主要内容
• 2 微通道板的基本原理和主要特征性能
• 2.1 微通道板的基本原理
• 2.2 微通道板的主要特征性能
• 2.2.1 微通道板的长径比
• 2.2.2 微通道板的开口面积比
• 2.2.3 微通道板的通道内壁结构
• 2.2.4 微通道板的增益及其均匀性
• 2.2.5 微通道板的躁声
• 2.2.6 微通道板的动态范围
• 2.2.7 微通道板的工作作寿命
• 2.2.8 微通道板的空间分辨率
• 3 微通道板的制造工艺
• 3.1 微通道板制造的工艺流程
• 3.2 微通道板芯、皮料的制备工艺
• 3.3 微通道板的拉丝、排屏工艺
• 3.4 微通道板的压屏工艺
• 3.5 微通道板的冷加工工艺
• 3.6 微通道板的腐蚀工艺
• 3.7 微通道板的氢还原工艺
• 3.8 微通道板的镀电极膜工艺
• 3.9 微通道板的测试、包装工艺
• 4 微通道板的双面抛光工艺研究
• 4.1 微通道板抛光运动、受力分析和数学模型
• 4.2 微通道板的双面抛光机理分析
• 4.3 夹具、研磨盘、抛光垫和抛光粉
• 4.3.1 夹具
• 4.3.2 研磨盘
• 4.3.3 抛光垫
• 4.3.4 抛光粉
• 4.4 双面抛光的压力和时间
• 4.5 微通道板双面抛光过程中的化学侵蚀
• 4.6 微通道板的双面抛光过程中的自防护措施
• 4.7 微通道板的表面杂质的处理
• 4.8 微通道板的双面抛光下盘后的处理
• 5 微通道板的双面抛光液试验设计及实验结果和分析
• 5.1 双面抛光液PH值实验
• 5.1.1 双面抛光液PH值实验设计
• 5.1.2 实验的结果和分析
• 5.2 表面活性剂实验
• 5.2.1 实验设计及试验数据
• 5.2.2 试验结果分析
• 5.3 实验结论
• 6 结束语
• 6.1 本文的工作总结
• 6.2 有待进一步研究和解决的问题
• 致谢
• 参考文献