论文摘要
缺陷及其所带来的影响是IC芯片失效的主要原因。为提高激光探测系统对晶片上微粒缺陷的检测能力，本文建立了平面上球形粒子的数理模型，通过对此模型下的散射理论研究和散射场数据的可视化研究，获得了直观易懂的散射场分布图像，从而为工程师设计出灵敏而有效的诊断工具提供了有力的帮助。在散射理论的研究上，从用于粒子光散射计算的T矩阵方法的推导出发，并依据轴对称粒子的特点，对T矩阵进行了简化和变形，在考虑平面对粒子散射带来的影响时，引入反射矩阵来表达这种相互作用，并利用这些建立了相应的求解散射场系数的矩阵方程，从而求得空间任一点的散射场值。在散射场数据的可视化研究上，根据产生数据的特点，建立了相应的半球面上网格化的几何模型，利用散射场数据和模型网格点的对应并对数据进行颜色量化后，得到了半球面上的散射场的数据图像。最后，在改变散射计算输入参数的基础上，对不同条件下散射场图像进行了比较分析，从而得出了一些具有指导意义的结论。
论文目录
第一章 绪论§1.1 研究背景和意义§1.1.1 研究背景§1.1.2 研究意义§1.2 研究内容和主要工作§1.3 本文结构第二章 基础理论简介及本文采用方法§2.1 粒子散射理论简介§2.1.1 基于表面的方法§2.1.2 基于体积的方法§2.2 可视化方面的理论简介§2.2.1 二维平面数据场的可视化方法§2.2.2 三维空间数据场的可视化方法§2.3 本文研究内容第三章 单个球形粒子的T矩阵计算方法§3.1 表面积分方程的建立§3.2 球形粒子T矩阵的求解§3.2.1 积分方程的求解§3.2.2 单个球形粒子的T矩阵§3.2.3 基于方位模m独立的T矩阵计算方法§3.2.4 计算过程及仿真结果§3.3 小结第四章 平面上球形粒子光散射计算§4.1 平面上粒子的数理模型§4.2 入射场及其展开项系数§4.3 相互作用场的引入及推导§4.3.1 直接散射场§4.3.2 相互作用场§4.4 散射总场的计算§4.4.1 加上反射矩阵后的散射场的计算§4.4.2 计算过程及仿真结果§4.5 小结第五章 半球面上的散射场数据可视化§5.1 数据可视化的流程及在OpenGL中的实现§5.2 数据源的色彩量化§5.2.1 数据格式§5.2.2 数据的量化§5.3 可视化过程的实现§5.3.1 几何建模与数据对应§5.3.2绘制过程§5.3.3 可视化效果§5.3.4 平面上粒子可视化图的指导意义§5.4 小结第六章 双层球面及球壳空间内的可视化技术§6.1 带半透明效果的双层球面的可视化§6.2球壳空间内的直接体视化技术§6.3 小结第七章 总结与展望§7.1 本文的工作总结§7.2 改进及对研究工作的展望致谢参考文献研究生在读期间研究成果附录A附录B
相关论文文献
标签：光散射论文; 平面上球形粒子论文; 矩阵论文; 反射矩阵论文; 数据可视化论文;
