本文主要研究内容
作者韩明月,李刘合,李花,艾猛,罗阳（2019）在《高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)等离子体放电时空特性研究进展》一文中研究指出：高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电凭借着高离化率优势,已经成为物理气相沉积(PVD)领域的核心技术。鉴于HiPIMS放电具有复杂的物理场配置和兆瓦级的峰值功率,其产生的不均匀等离子体严重影响着薄膜的性能。从HiPIMS放电等离子体的时间和空间特性角度出发,结合放电靶电流、等离子体阻抗、离子饱和电流的特性,以及各种粒子在不同时刻和空间位点对应的相互作用和运动轨迹,综述了近年来国际上关于HiPIMS脉冲放电过程中等离子体参数的时空演变特性以及脉冲等离子体动力学行为,主要包含了等离子体物理量的时间演变规律,复杂物理场的空间分布行为,粒子密度、能量的扩散传输机制,靶材粒子离化程度的表征方法等,并全面地叙述了气体原子稀释效应、气体循环、双极扩散、等离子体波、旋转的spoke等不稳定传输特性。此外,依据等离子体时空特性,总结出HiPIMS放电沉积速率低的内因,介绍了提高沉积速率的方法和机理。最后,指出了目前关于HiPIMS时空特性研究方面存在的问题和发展方向。
Abstract
gao gong lv mai chong ci kong jian she (HiPIMS)fang dian ping jie zhao gao li hua lv you shi ,yi jing cheng wei wu li qi xiang chen ji (PVD)ling yu de he xin ji shu 。jian yu HiPIMSfang dian ju you fu za de wu li chang pei zhi he zhao wa ji de feng zhi gong lv ,ji chan sheng de bu jun yun deng li zi ti yan chong ying xiang zhao bao mo de xing neng 。cong HiPIMSfang dian deng li zi ti de shi jian he kong jian te xing jiao du chu fa ,jie ge fang dian ba dian liu 、deng li zi ti zu kang 、li zi bao he dian liu de te xing ,yi ji ge chong li zi zai bu tong shi ke he kong jian wei dian dui ying de xiang hu zuo yong he yun dong gui ji ,zeng shu le jin nian lai guo ji shang guan yu HiPIMSmai chong fang dian guo cheng zhong deng li zi ti can shu de shi kong yan bian te xing yi ji mai chong deng li zi ti dong li xue hang wei ,zhu yao bao han le deng li zi ti wu li liang de shi jian yan bian gui lv ,fu za wu li chang de kong jian fen bu hang wei ,li zi mi du 、neng liang de kuo san chuan shu ji zhi ,ba cai li zi li hua cheng du de biao zheng fang fa deng ,bing quan mian de xu shu le qi ti yuan zi xi shi xiao ying 、qi ti xun huan 、shuang ji kuo san 、deng li zi ti bo 、xuan zhuai de spokedeng bu wen ding chuan shu te xing 。ci wai ,yi ju deng li zi ti shi kong te xing ,zong jie chu HiPIMSfang dian chen ji su lv di de nei yin ,jie shao le di gao chen ji su lv de fang fa he ji li 。zui hou ,zhi chu le mu qian guan yu HiPIMSshi kong te xing yan jiu fang mian cun zai de wen ti he fa zhan fang xiang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自表面技术的韩明月,李刘合,李花,艾猛,罗阳，发表于刊物表面技术2019年09期论文，是一篇关于高功率脉冲磁控溅射论文,等离子体参数论文,靶电流论文,时间特性论文,空间特性论文,表面技术2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自表面技术2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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