论文摘要
为了满足红外军用仪器的特殊要求,本文研制了在1064nm处激光能量衰减至1%,3～5μm波段高增透的激光滤光膜。根据薄膜理论进行膜系设计,运用TFC和大众膜系设计软件,考虑双波段的特殊要求,参考镀膜材料的特性优化膜层厚度。采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了红外双波段滤光膜。借助离子源,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值,使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,利用低能离子轰击,测得的压应力由122MPa降到51MPa,膜层与基底间的应力明显减小；所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求。
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