论文摘要
在现代机械系统领域,尤其是IC领域,高速高精运动控制由于它极高的生产能力和良好的性能成为这个领域的一个核心技术。由于IC生产特点是需要极端的尺度和速度,这就给我们一个极大挑战:如何在很短的时间、精确的定位条件下实现可重复的高加速运动。本论文系统的研究了三种不同的控制算法,并提出一种合适的控制算法来满足高速高精IC封装运动控制系统的要求。使用“计算机+运动控制器+伺服电机”的硬件结构来实现进行系统控制。同时使用该结构进行系统参数辨识。控制方法通过大量的试验来证实其有效性。通过研究比较使用陷波器进行抑制震动。针对传统的扰动观测器和零相误差跟踪器提出修正并应用。加速度速度前馈控制器被使用。实现三种不同的控制算法。在不同轨迹跟踪,扰动抑制,参数变动的条件下做大量实验并得出了一定的结论有助于深入研究。针对本控制系统,比较了控制算法的性能并给出最合适的控制算法在此系统中所达到的性能指标,实现了系统控制性能估计的指标。
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摘要ABSTRACTACKNOWLEDGEMENTSTABLE LISTFIGURELISTCHAPTER 1 INTRODUCTION1.1 Background1.2 Motivations and objectives1.3 Modern motion control technology1.3.1 Concepts of motion control system1.3.2 Situation of our country1.4 SummaryCHAPTER 2 SYSTEMS STRUCTURE & GOAL2.1 System description2.2 Criteria & Goal2.2.1 Performance Specifications Robust Specifications2.2.2 Robust Specifications2.2.3 Goals to achieve2.3 SummaryCHAPTER 3 DESCRIPTION OF CONTRAINED SYSTEMS3.1 Definitions and Theorems3.2 System model with uncertainty3.2.1 Model uncertainties3.2.2 Weight functions3.3 SummaryCHAPTER 4 CONTROL ALGORITHM RESEARCH4.1 Resonance attenuated4.2 Disturbance observer4.3 Feed-forward compensation controllers4.4 PID controller4.4.1 Traditional PID controller4.4.2 CMAC-PID control4.4.3 H-inf control algorithm4.5 SummaryCHAPTER 5 EXPERIMENT AND RESULT ANALYSIS5.1 Basic experimental information5.2 Control algorithms analysis5.2.1 Attenuation of the resonant with notch filter5.2.2 Disturbance observer test5.2.3 H-inf control algorithm test5.3 Experiment results5.3.1 Proper bandwidth of the motion control system5.3.2 Control performance of different models5.4 SummaryChapter 6 CONCLUSION & FUTURE WORKREFERENCES
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标签:运动控制论文; 控制算法论文; 镇定时间论文; 高精度论文;