本文主要研究内容
作者孔维星,巩春志,田修波（2019）在《微细硬质合金刀具沉积金刚石薄膜的形核研究》一文中研究指出：形核是HFCVD金刚石薄膜沉积的重要阶段,对金刚石薄膜质量至关重要。为实现金刚石薄膜在微细硬质合金刀具表面的高质量形核,选取了形核过程中的几个核心参数:热丝功率(P_f)、碳氢比(X)以及形核气压(p),设计了三因素三水平正交实验,采用SEM形貌分析、拉曼光谱分析以及EDS能谱分析等对形核尺寸、表面覆盖率和形核质量进行了研究。实验结果表明,热丝功率对形核尺寸和形核速率的影响最大,形核气压的影响最小,而对沉积质量影响较大的为热丝功率和形核气压,碳氢比的影响则最小。实验得到的最佳形核参数为:P_f=2 000 W,X=2.0%,p=1 400 Pa。
Abstract
xing he shi HFCVDjin gang dan bao mo chen ji de chong yao jie duan ,dui jin gang dan bao mo zhi liang zhi guan chong yao 。wei shi xian jin gang dan bao mo zai wei xi ying zhi ge jin dao ju biao mian de gao zhi liang xing he ,shua qu le xing he guo cheng zhong de ji ge he xin can shu :re si gong lv (P_f)、tan qing bi (X)yi ji xing he qi ya (p),she ji le san yin su san shui ping zheng jiao shi yan ,cai yong SEMxing mao fen xi 、la man guang pu fen xi yi ji EDSneng pu fen xi deng dui xing he che cun 、biao mian fu gai lv he xing he zhi liang jin hang le yan jiu 。shi yan jie guo biao ming ,re si gong lv dui xing he che cun he xing he su lv de ying xiang zui da ,xing he qi ya de ying xiang zui xiao ,er dui chen ji zhi liang ying xiang jiao da de wei re si gong lv he xing he qi ya ,tan qing bi de ying xiang ze zui xiao 。shi yan de dao de zui jia xing he can shu wei :P_f=2 000 W,X=2.0%,p=1 400 Pa。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自真空与低温的孔维星,巩春志,田修波，发表于刊物真空与低温2019年03期论文，是一篇关于微细硬质合金刀具论文,金刚石薄膜论文,形核论文,正交试验论文,真空与低温2019年03期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空与低温2019年03期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：微细硬质合金刀具论文; 金刚石薄膜论文; 形核论文; 正交试验论文; 真空与低温2019年03期论文;