丁鹏翔:音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究论文

丁鹏翔:音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究论文

本文主要研究内容

作者丁鹏翔,章文,陈丽娟,程真英,黄强先(2019)在《音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究》一文中研究指出:音叉光纤一体式三维谐振测头是一种应用于微纳米三坐标测量机的新型测头,由石音音叉与光纤测杆测球组成。为了保持测头的振动稳定性与测量准确性,测杆的长度被限制在1 mm以内,导致其测量较大深宽比微结构的能力受限。为了在保障测头测量性能的同时,进一步提高测头的测量能力,对测头进行了优化改良,并进行了性能测试实验。

Abstract

yin cha guang qian yi ti shi san wei xie zhen ce tou shi yi chong ying yong yu wei na mi san zuo biao ce liang ji de xin xing ce tou ,you dan yin yin cha yu guang qian ce gan ce qiu zu cheng 。wei le bao chi ce tou de zhen dong wen ding xing yu ce liang zhun que xing ,ce gan de chang du bei xian zhi zai 1 mmyi nei ,dao zhi ji ce liang jiao da shen kuan bi wei jie gou de neng li shou xian 。wei le zai bao zhang ce tou ce liang xing neng de tong shi ,jin yi bu di gao ce tou de ce liang neng li ,dui ce tou jin hang le you hua gai liang ,bing jin hang le xing neng ce shi shi yan 。

论文参考文献

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  • 论文详细介绍

    论文作者分别是来自计测技术的丁鹏翔,章文,陈丽娟,程真英,黄强先,发表于刊物计测技术2019年02期论文,是一篇关于谐振测头论文,石英音叉论文,测头优化论文,测杆长度论文,计测技术2019年02期论文的文章。本文可供学术参考使用,各位学者可以免费参考阅读下载,文章观点不代表本站观点,资料来自计测技术2019年02期论文网站,若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权,请联系我们删除。

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