本文主要研究内容
作者刘晓晨,葛新岗,李义锋,姜龙,安晓明,郭辉（2019）在《用于小角散射原位加载测试的单晶金刚石窗口制备工艺研究》一文中研究指出：根据小角散射原位加载测试的应用需求,采用自行研制的2. 45 GHz/6 kW穹顶式微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）装置进行高质量单晶金刚石窗口的制备,对晶托结构进行改进,并系统研究了沉积温度对单晶金刚石生长速率、表面形貌、结晶质量、X射线透过率的影响。实验结果表明,新型晶托结构使籽晶表面温度分布均匀,有利于提升单晶金刚石结晶质量;沉积温度1000℃下制备单晶金刚石样品表面形貌、拉曼曲线半峰宽、摇摆曲线半峰宽、X射线透过率均优于其它温度的样品,并最终在该温度下制备出Φ7×0. 5 mm2的单晶金刚石窗口。经测试,样品生长速率可达11. 6μm/h,厚度偏差小于±2%,其Raman半峰宽为2. 08 cm-1,XRD摇摆曲线半峰宽为28arcsec,PL谱中未出现与氮相关的杂质峰,X射线透过率超过80%且窗口耐压达到27 MPa,所有性能均满足小角散射原位加载测试的应用需求。
Abstract
gen ju xiao jiao san she yuan wei jia zai ce shi de ying yong xu qiu ,cai yong zi hang yan zhi de 2. 45 GHz/6 kWqiong ding shi wei bo deng li zi ti hua xue qi xiang chen ji （MPCVD）zhuang zhi jin hang gao zhi liang chan jing jin gang dan chuang kou de zhi bei ,dui jing tuo jie gou jin hang gai jin ,bing ji tong yan jiu le chen ji wen du dui chan jing jin gang dan sheng chang su lv 、biao mian xing mao 、jie jing zhi liang 、Xshe xian tou guo lv de ying xiang 。shi yan jie guo biao ming ,xin xing jing tuo jie gou shi zi jing biao mian wen du fen bu jun yun ,you li yu di sheng chan jing jin gang dan jie jing zhi liang ;chen ji wen du 1000℃xia zhi bei chan jing jin gang dan yang pin biao mian xing mao 、la man qu xian ban feng kuan 、yao bai qu xian ban feng kuan 、Xshe xian tou guo lv jun you yu ji ta wen du de yang pin ,bing zui zhong zai gai wen du xia zhi bei chu Φ7×0. 5 mm2de chan jing jin gang dan chuang kou 。jing ce shi ,yang pin sheng chang su lv ke da 11. 6μm/h,hou du pian cha xiao yu ±2%,ji Ramanban feng kuan wei 2. 08 cm-1,XRDyao bai qu xian ban feng kuan wei 28arcsec,PLpu zhong wei chu xian yu dan xiang guan de za zhi feng ,Xshe xian tou guo lv chao guo 80%ju chuang kou nai ya da dao 27 MPa,suo you xing neng jun man zu xiao jiao san she yuan wei jia zai ce shi de ying yong xu qiu 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自人工晶体学报的刘晓晨,葛新岗,李义锋,姜龙,安晓明,郭辉，发表于刊物人工晶体学报2019年11期论文，是一篇关于小角散射论文,单晶金刚石论文,人工晶体学报2019年11期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自人工晶体学报2019年11期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
标签：小角散射论文; 单晶金刚石论文; 人工晶体学报2019年11期论文;