本文主要研究内容
作者潘桂玲（2019）在《日立扫描电镜真空系统的维护》一文中研究指出：电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。
Abstract
dian jing zhen kong ti ji dui que bao yi qi zheng chang yun hang he tu pian zhi liang shi fen chong yao 。ben wen jie shao le ri li sao miao dian jing de zhen kong ji tong de zu cheng ji zai yun hang zhong chu xian de gu zhang he gu zhang xiao chu de fang fa ,wei shi xian sao miao dian jing de zheng chang gong zuo di gong le you li bao zhang 。
论文参考文献
论文详细介绍
论文作者分别是来自真空科学与技术学报的潘桂玲，发表于刊物真空科学与技术学报2019年09期论文，是一篇关于扫描电镜论文,真空系统论文,油扩散泵论文,机械泵论文,真空油论文,维护论文,真空科学与技术学报2019年09期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自真空科学与技术学报2019年09期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。
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