论文摘要
在长度、位移等光学非接触测量中,激光三角测量是一种常用的方法。位置敏感探测器PSD相比于其它光电位置探测器件,具有分辨率高,响应速度快等特点。本文首先介绍了该课题的研究背景和意义,并通过阅读大量的国内外最新文献资料,对激光三角法和位置敏感探测器PSD的基本原理进行了阐述和分析;并在此基础上提出了该系统要实现的功能,对基于PSD的高速、高精度位移检测系统进行了具体的硬件和软件设计。由于PSD位移检测属于微弱信号检测,在信号处理过程中采用双H-2476型处理电路对信号处理单元进行了改进设计,并通过采样保持和非线性补偿等方法有效地提高了位移检测系统的稳定性和测量结果的准确性,为后续的深入研究提供了必要的准备。
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