论文摘要
随着国际通讯、安全、军事竞争的日益激烈,各种电子设施要求可以在极端的气候情况下工作。工作在微波频段的接收或者发射机以其可轻易穿越大雾、云层及烟雾等特性,显示出了可见光及红外频段的器件无法比拟的优越性,从而被各国研究学者重视。目前,宽带微波通讯系统中除滤波器外的后端系统都可以集成在单个芯片中,滤波器组的体积已经远大于后端的整个系统。随着微波通讯频段的广泛应用,微波频段的电磁环境变的越来越复杂。为了提高微波频段的通讯质量,就需要针对通讯频段某些信号进行衰减,带阻滤波器就被广泛应用在该场合。采用传统YIG小球技术制成的带阻滤波器,其体积庞大、不易集成。本论文旨在研究一种能与单片集成电路技术兼容的薄膜器件(磁调带阻滤波器),磁调带阻滤波器是指滤波器的阻带中心频点可以随着外部的直流磁场变化而随之调谐。磁调带阻滤波器基于铁磁共振原理,采用具有高饱和磁化强度的FeCoB薄膜,外加一个很小的直流磁场就可以工作微波频段,克服了传统技术带阻滤波器需要很大外加直流磁场的缺点。针对磁调带阻滤波器的设计本论文将从三个方面开展工作。第一,进行磁调带阻滤波器电路及结构设计分析。对滤波器特性进行研究,设计电路图形与掩膜板。第二,激励器及测试平台的研究与设计。激励器作为磁调带阻滤波器的组成部分,为滤波器工作提供可调节的直流磁场。。通过以上工作,本论文设计实现了一个工作在微波毫米波频段、中心阻带可调谐的带阻滤波器和测试该滤波器的激励器及测试平台,掌握了磁性薄膜器件设计的基本方法,为后续薄膜器件设计与研究打下一个良好的基础。
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