华钰超：反问题方法在3ω法测量薄膜热导率中的应用论文

本文主要研究内容

作者华钰超,曹炳阳（2019）在《反问题方法在3ω法测量薄膜热导率中的应用》一文中研究指出：数值计算证明, 3ω方法结合有限元方法与反问题方法,能够同时确定基底材料与薄膜的相关热物性.基底上薄膜的热导率可以获得很高的测量精度,而且几乎不受测量截止频率的影响;热扩散率的测量精度则相对较低,但随着测量截止频率增加,其测量精度会得到改善.使用上述方法得到了硅基底上二氧化硅薄膜的热导率.得到硅基底的热导率为142.1 W/(m K),相对误差约为2%,二氧化硅薄膜的热导率为1.01 W/(m K),相对误差约为2%,与公认的测量值相符.

Abstract

shu zhi ji suan zheng ming , 3ωfang fa jie ge you xian yuan fang fa yu fan wen ti fang fa ,neng gou tong shi que ding ji de cai liao yu bao mo de xiang guan re wu xing .ji de shang bao mo de re dao lv ke yi huo de hen gao de ce liang jing du ,er ju ji hu bu shou ce liang jie zhi pin lv de ying xiang ;re kuo san lv de ce liang jing du ze xiang dui jiao di ,dan sui zhao ce liang jie zhi pin lv zeng jia ,ji ce liang jing du hui de dao gai shan .shi yong shang shu fang fa de dao le gui ji de shang er yang hua gui bao mo de re dao lv .de dao gui ji de de re dao lv wei 142.1 W/(m K),xiang dui wu cha yao wei 2%,er yang hua gui bao mo de re dao lv wei 1.01 W/(m K),xiang dui wu cha yao wei 2%,yu gong ren de ce liang zhi xiang fu .

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论文详细介绍

论文作者分别是来自科学通报的华钰超,曹炳阳，发表于刊物科学通报2019年33期论文，是一篇关于方法论文,反问题方法论文,热导率论文,薄膜论文,科学通报2019年33期论文的文章。本文可供学术参考使用，各位学者可以免费参考阅读下载，文章观点不代表本站观点，资料来自科学通报2019年33期论文网站，若本站收录的文献无意侵犯了您的著作版权，请联系我们删除。

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